雙極板材料電阻測(cè)試儀參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍：10-6～2×102Ω/□   

2.電阻率范圍：10-7～2×103Ω-cm

3.測(cè)試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.電流精度：±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.PC軟件界面：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率、電阻率、壓強(qiáng)等.

7.測(cè)試方式: 四探針測(cè)量（體電阻率）和四端法（接觸電阻測(cè)量）

8.壓力范圍：0-1000kg（0-4MPa）.

9. 樣品形狀為正方形（鍍金電極為5cm×5cm)，面積為25cm2（其他規(guī)格定制）

10.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

11. 加壓方式：自動(dòng)

雙極板材料電阻測(cè)試儀用于雙極板材料本體電阻率和雙極板與炭紙之間的接觸電阻的測(cè)量和分析.

通過(guò)PC軟件操作界面運(yùn)行，四探針低阻測(cè)量和接觸電阻分析，自動(dòng)生成報(bào)表，自動(dòng)獲得壓力變化下電阻，電阻率和電導(dǎo)率的變化圖譜，樣品厚度測(cè)量，自動(dòng)運(yùn)算.統(tǒng)計(jì)分析，

參照標(biāo)準(zhǔn)：

1）四探針測(cè)試儀參照GB/T 1551、GB/T1552-1995，ASTM F84美國(guó)A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

2）四探針?lè)ǚ勰y(cè)試平臺(tái)參照GBT 30835-2014《鋰離子電池用炭復(fù)合磷酸鐵鋰正極材料》中關(guān)于粉末電導(dǎo)率的測(cè)定方法中用于仲裁方法的四探針?lè)ㄒ笾谱?

輸入電源輸入：220V±10%  使用頻率：50Hz工作場(chǎng)所盡可能使用非導(dǎo)電的工作桌工作臺(tái)。操作人員和待測(cè)物之間不得使用任何金屬。操作人員的位置不得有跨越待測(cè)物去操作或調(diào)整測(cè)試儀器的現(xiàn)象。測(cè)試場(chǎng)所必須隨時(shí)保持整齊、干凈，不得雜亂無(wú)章。測(cè)試站及其周邊之空氣中不能含有可燃?xì)怏w或在易燃物質(zhì)。

人員資格

本儀器為精密儀器，必須由訓(xùn)練合格的人員使用和操作。

安全守則

操作人員必須隨時(shí)給予教育和訓(xùn)練，使其了解各種操作規(guī)則的重要性，并依安全規(guī)則操作。

衣著規(guī)定操作人員不可穿有金屬裝飾的衣服或戴金屬手飾和手表等，這些金屬飾物很容易造成意外的感電。

醫(yī)學(xué)規(guī)定不能讓有心臟病或配戴心律調(diào)整器的人員操作。

測(cè)試安全程序規(guī)定一定要按照規(guī)定程序操作。操作人員必須確定能夠完全自主掌控各部位的控制開(kāi)關(guān)和功能。

安全要點(diǎn)合格的操作人員和不相關(guān)的人員應(yīng)遠(yuǎn)離測(cè)試區(qū)。萬(wàn)一發(fā)生問(wèn)題，請(qǐng)立即關(guān)閉電源并及時(shí)處理故障原因。

儀器安裝要點(diǎn)安裝簡(jiǎn)介本章主要介紹產(chǎn)品的拆封、檢查、使用前的準(zhǔn)備等的規(guī)則。拆封和檢查產(chǎn)品是包裝在一個(gè)使用木箱泡綿保護(hù)的包裝箱內(nèi)，如果收到時(shí)的包裝箱有破損，請(qǐng)檢查機(jī)器的外觀是否有無(wú)變形、刮傷、或面板損壞等。如果有損壞，請(qǐng)立即通知制造廠或其經(jīng)銷商。并請(qǐng)保留包裝箱和泡綿，以便了解發(fā)生的原因。我們的服務(wù)中心會(huì)幫您解決。在未通知制造廠或其經(jīng)銷商前，請(qǐng)勿立即退回產(chǎn)品。使用前的準(zhǔn)備 輸入電壓輸入220V，有穩(wěn)定的電流和電壓環(huán)境

使用的周圍環(huán)境條件

。易燃易爆空氣環(huán)境            。不穩(wěn)定的工作臺(tái)面.

。陽(yáng)光直射的地方.             。潮濕的地方.

。腐蝕性的空氣環(huán)境.           。空氣污染灰塵重.

儲(chǔ)存和運(yùn)輸周圍環(huán)境儀器可以在下列的條件下儲(chǔ)存和運(yùn)輸：

導(dǎo)體材料電阻率測(cè)試儀GB/T 11073硅片徑向電阻率變化的測(cè)量方法提要探針與試樣壓力分為小于0.3N及0.3 Nˉ0.8N兩種。以下文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用商成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。但凡注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括訂正的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的新版本。但凡不注日期的引用文件，其新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T 1552硅、儲(chǔ)單晶電阻率測(cè)定直排四探針?lè)悠放_(tái)和操針架樣品臺(tái)和探針架應(yīng)符合GB/T152 中的規(guī)定。樣品臺(tái)上應(yīng)具有旋轉(zhuǎn)360"的裝置。其誤差不大于士5"，測(cè)量裝置測(cè)量裝置的典型電路叉圖1，范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直排四探針測(cè)量硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層薄層電阻的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量直徑大于15.9mm的由外延、擴(kuò)散、離子注人到硅片表面上或表面下形成的薄層的平均薄層電阻。硅片基體導(dǎo)電類型與被測(cè)薄層相反。適用于測(cè)量厚度不小于0.2 μm的薄層，方塊電阻的測(cè)量范圍為10A-5000n.該方法也可適用于更高或更低照值方塊電阻的測(cè)量，但其測(cè)量準(zhǔn)確度尚未評(píng)估。使用直排四探針測(cè)量裝置、使直流電流通過(guò)試樣上兩外探件，測(cè)量?jī)蓛?nèi)操針之間的電位差，引人與試樣幾何形軟有關(guān)的修正因子，計(jì)算出薄層電阻。覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試采用四探針組合雙電測(cè)量方法，液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出；選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響.

采用四探針組合雙電測(cè)量方法，液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出；選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響.

概述：采用四端測(cè)量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，實(shí)驗(yàn)室；是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具。可配置不同測(cè)量裝置測(cè)試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補(bǔ)償功能，自動(dòng)量程，自動(dòng)測(cè)量電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。恒流源輸出；選配：PC軟件過(guò)程數(shù)據(jù)處理和標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器，薄膜按鍵操作簡(jiǎn)單，中文或英文兩種語(yǔ)言界面選擇，電位差計(jì)和電流計(jì)或數(shù)字電壓表，量程為1mVˉ100mV,分辨率為0.1%，直流輸入阻抗不小250μm的半球形或半徑為50 μm~125 μm的平的圓截面。探針(帶有彈簧及外引線)之間或探針系統(tǒng)其他部分之間的絕緣電照至少為10°Ω.探針排列和間距，四探針應(yīng)以等距離直線排列，探針閥距及針突狀況應(yīng)符合GB/T 552 中的規(guī)定。R=1(R +R, )…………………………(3)R2=與(R; +R，)計(jì)算試樣平均直徑D與平均操針間距S之比，由表3中查出修正因子F，也可以見(jiàn)GB/T11073中規(guī)定的幾何修正因子。 9.4計(jì)算幾何修正因子F，見(jiàn)式(4)。對(duì)于薄層厚度小于3μm的試樣，選用針尖半徑為100μm250μm的半球形探針或針尖率徑為50μm~125 pm平頭探針，針尖與試樣間壓力為0.3 Nˉ0.8Ni對(duì)于薄層厚度不小于3μ的試樣，選用針尖半徑為35μm100 pm 半球形操針，針尖與試樣間壓力不大于 0.3 N.Rr=V; R,/V=V/I,…… … R,=V,R,/V_=V,/I,-雙刀雙撐電位選擇開(kāi)關(guān)。.定。歐嬌表，能指示阻值高達(dá)10°日的漏電阻，溫度針0℃-40℃，小刻度為0.1℃。光照、高頻、需動(dòng)、強(qiáng)電磁場(chǎng)及溫醒度等測(cè)試環(huán)境會(huì)影響測(cè)試結(jié)果，甲醇、99.5%，干燥氮?dú)?。測(cè)量?jī)x器探針系統(tǒng)操針為具有45"~150°角的圓罐形破化鴨振針，針實(shí)半徑分別為35μm~100μm.100 μm…… … ………(5)電壓表輸入阻抗會(huì)引入測(cè)試誤差，硅片幾何形狀，表面粘污等會(huì)影響測(cè)試結(jié)果，R(TD-R_xF式中:計(jì)算每一測(cè)量位置的平均電阻R.，見(jiàn)式(3).試劑優(yōu)級(jí)純，純水，25℃時(shí)電阻率大于2MN.cm,s=號(hào)(二[R，(TD-瓦(7D羽yt ..計(jì)算每一測(cè)量位置在所測(cè)溫度時(shí)的薄層電阻(可根據(jù)薄層電阻計(jì)算出對(duì)應(yīng)的電阻率并修正到23℃，具體見(jiàn)表4)見(jiàn)式(5).用干凈涂題顆子或吸筆將試樣置于樣品臺(tái)上，試樣放置的時(shí)間應(yīng)足夠長(zhǎng)，到達(dá)熱平衡時(shí)，試樣溫度為23 ℃±1℃.接通電流，令其任一方向?yàn)檎颍{(diào)節(jié)電流大小見(jiàn)表1測(cè)量范圍電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm方  阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□電  阻：1×10-5～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)決定和測(cè)試方式?jīng)Q定)直    徑：A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm，   方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm，    長(zhǎng)(高)度：測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm,    測(cè)量方位: 軸向、徑向均可

4-1/2 位數(shù)字電壓表：

    (1)量程： 20.00mV～2000mV

    (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字

數(shù)控恒流源

   (1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA，1A

   (2)誤差：±0.1%讀數(shù)±2 字

所給出的某一合適值，測(cè)量并記錄所得數(shù)據(jù)，所有測(cè)試數(shù)據(jù)至少應(yīng)取三位有效數(shù)字。改變電流方向，測(cè)量、記錄數(shù)據(jù)。關(guān)斷電流，搶起探針裝置，對(duì)仲裁測(cè)量，探針間距為1.59

規(guī)格及型號(hào)

本儀器本儀器采用四探針雙電測(cè)量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動(dòng)選擇，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運(yùn)輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率，壓強(qiáng) 配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。

標(biāo)準(zhǔn)要求：

該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。

技術(shù)參數(shù)及功能介紹

1.雙電測(cè)四探針?lè)y(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下：

直線四探針測(cè)試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理：

當(dāng)電流通過(guò)1、4探針，2、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：

四探針測(cè)試結(jié)構(gòu)

當(dāng)電流通過(guò)1、2探針，4、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下：從以上計(jì)算公式可以看出：方阻RS只取決于R1和R2，與探針間距無(wú)關(guān)．針距相等與否對(duì)RS的結(jié)果無(wú)任何影響，本公司所生產(chǎn)之探針頭全部采用等距，偏差微小，對(duì)測(cè)試結(jié)果更加。

1.1.開(kāi)機(jī)預(yù)熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，讓儀器預(yù)熱15分鐘，保證測(cè)試數(shù)據(jù)穩(wěn)定。若測(cè)試儀無(wú)法正常啟動(dòng)，請(qǐng)按以下步驟檢查：

①檢查電源線是否接觸良好；

②檢查后面板上的電源開(kāi)關(guān)是否已經(jīng)打開(kāi)

③檢查保險(xiǎn)絲是否熔斷，如有必要，請(qǐng)更換保險(xiǎn)絲

④ 如經(jīng)上述檢查無(wú)誤后，測(cè)試儀仍未正常啟動(dòng)，請(qǐng)聯(lián)系本公司進(jìn)行解決。