四探針電阻率檢測儀高精度測量：測試范圍覆蓋10^-8~10^8 Ω·cm，分辨率達(dá)0.1%，滿足半導(dǎo)體、新能源材料等多場景需求；  智能化操作：配備觸摸屏控制及數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)功能，支持PC端數(shù)據(jù)分析，提升檢測效率；  穩(wěn)定可靠：采用抗干擾設(shè)計(jì)，適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室及產(chǎn)線環(huán)境，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行；  定制化服務(wù)：可根據(jù)客戶需求調(diào)整測試模式，兼容不同材料形態(tài)（薄膜、塊體、粉末等）。

四探針電阻率檢測儀廣泛應(yīng)用于新能源汽車、半導(dǎo)體、電子材料等行業(yè)，適用于石墨烯、碳納米管、鋰電材料等半導(dǎo)電材料的電阻率測試，是研發(fā)與質(zhì)量控制的關(guān)鍵工具。

導(dǎo)體材料電阻率測試儀GB/T 11073硅片徑向電阻率變化的測量方法提要探針與試樣壓力分為小于0.3N及0.3 Nˉ0.8N兩種。以下文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用商成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。但凡注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括訂正的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的新版本。但凡不注日期的引用文件，其新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T 1552硅、儲(chǔ)單晶電阻率測定直排四探針法樣品臺(tái)和操針架樣品臺(tái)和探針架應(yīng)符合GB/T152 中的規(guī)定。樣品臺(tái)上應(yīng)具有旋轉(zhuǎn)360"的裝置。其誤差不大于士5"，測量裝置測量裝置的典型電路叉圖1，范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直排四探針測量硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層薄層電阻的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量直徑大于15.9mm的由外延、擴(kuò)散、離子注人到硅片表面上或表面下形成的薄層的平均薄層電阻。硅片基體導(dǎo)電類型與被測薄層相反。適用于測量厚度不小于0.2 μm的薄層，方塊電阻的測量范圍為10A-5000n.該方法也可適用于更高或更低照值方塊電阻的測量，但其測量準(zhǔn)確度尚未評估。使用直排四探針測量裝置、使直流電流通過試樣上兩外探件，測量兩內(nèi)操針之間的電位差，引人與試樣幾何形軟有關(guān)的修正因子，計(jì)算出薄層電阻。覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試采用四探針組合雙電測量方法，液晶顯示，自動(dòng)測量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出；選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.

雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響.

采用四探針組合雙電測量方法，液晶顯示，自動(dòng)測量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出；選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.

雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響.

概述：采用四端測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，實(shí)驗(yàn)室；是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具。可配置不同測量裝置測試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補(bǔ)償功能，自動(dòng)量程，自動(dòng)測量電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。恒流源輸出；選配：PC軟件過程數(shù)據(jù)處理和標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器，薄膜按鍵操作簡單，中文或英文兩種語言界面選擇，電位差計(jì)和電流計(jì)或數(shù)字電壓表，量程為1mVˉ100mV,分辨率為0.1%，直流輸入阻抗不小250μm的半球形或半徑為50 μm~125 μm的平的圓截面。探針(帶有彈簧及外引線)之間或探針系統(tǒng)其他部分之間的絕緣電照至少為10°Ω.探針排列和間距，四探針應(yīng)以等距離直線排列，探針閥距及針突狀況應(yīng)符合GB/T 552 中的規(guī)定。R=1(R +R, )…………………………(3)R2=與(R; +R，)計(jì)算試樣平均直徑D與平均操針間距S之比，由表3中查出修正因子F，也可以見GB/T11073中規(guī)定的幾何修正因子。 9.4計(jì)算幾何修正因子F，見式(4)。對于薄層厚度小于3μm的試樣，選用針尖半徑為100μm250μm的半球形探針或針尖率徑為50μm~125 pm平頭探針，針尖與試樣間壓力為0.3 Nˉ0.8Ni對于薄層厚度不小于3μ的試樣，選用針尖半徑為35μm100 pm 半球形操針，針尖與試樣間壓力不大于 0.3 N.Rr=V; R,/V=V/I,…… … R,=V,R,/V_=V,/I,-雙刀雙撐電位選擇開關(guān)。.定。歐嬌表，能指示阻值高達(dá)10°日的漏電阻，溫度針0℃-40℃，小刻度為0.1℃。光照、高頻、需動(dòng)、強(qiáng)電磁場及溫醒度等測試環(huán)境會(huì)影響測試結(jié)果，甲醇、99.5%，干燥氮?dú)?。測量儀器探針系統(tǒng)操針為具有45"~150°角的圓罐形破化鴨振針，針實(shí)半徑分別為35μm~100μm.100 μm…… … ………(5)電壓表輸入阻抗會(huì)引入測試誤差，硅片幾何形狀，表面粘污等會(huì)影響測試結(jié)果，R(TD-R_xF式中:計(jì)算每一測量位置的平均電阻R.，見式(3).試劑優(yōu)級純，純水，25℃時(shí)電阻率大于2MN.cm,s=號(二[R，(TD-瓦(7D羽yt ..計(jì)算每一測量位置在所測溫度時(shí)的薄層電阻(可根據(jù)薄層電阻計(jì)算出對應(yīng)的電阻率并修正到23℃，具體見表4)見式(5).用干凈涂題顆子或吸筆將試樣置于樣品臺(tái)上，試樣放置的時(shí)間應(yīng)足夠長，到達(dá)熱平衡時(shí)，試樣溫度為23 ℃±1℃.接通電流，令其任一方向?yàn)檎?，調(diào)節(jié)電流大小見表1測量范圍電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm方  阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□電  阻：1×10-5～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-6～1×102 Ω 材料尺寸(由選配測試臺(tái)決定和測試方式?jīng)Q定)直    徑：A圓測試臺(tái)直接測試方式 Φ15～130mm，   方測試臺(tái)直接測試方式180mm×180mm，    長(高)度：測試臺(tái)直接測試方式 H≤100mm

操作人員必須隨時(shí)給予教育和訓(xùn)練，使其了解各種操作規(guī)則的重要性，并依安全規(guī)則操作。

衣著規(guī)定操作人員不可穿有金屬裝飾的衣服或戴金屬手飾和手表等，這些金屬飾物很容易造成意外的感電。

醫(yī)學(xué)規(guī)定不能讓有心臟病或配戴心律調(diào)整器的人員操作。

測試安全程序規(guī)定一定要按照規(guī)定程序操作。操作人員必須確定能夠完全自主掌控各部位的控制開關(guān)和功能。

安全要點(diǎn)合格的操作人員和不相關(guān)的人員應(yīng)遠(yuǎn)離測試區(qū)。萬一發(fā)生問題，請立即關(guān)閉電源并及時(shí)處理故障原因。

儀器安裝要點(diǎn)安裝簡介本章主要介紹產(chǎn)品的拆封、檢查、使用前的準(zhǔn)備等的規(guī)則。拆封和檢查產(chǎn)品是包裝在一個(gè)使用木箱泡綿保護(hù)的包裝箱內(nèi)，如果收到時(shí)的包裝箱有破損，請檢查機(jī)器的外觀是否有無變形、刮傷、或面板損壞等。如果有損壞，請立即通知制造廠或其經(jīng)銷商。并請保留包裝箱和泡綿，以便了解發(fā)生的原因。我們的服務(wù)中心會(huì)幫您解決。在未通知制造廠或其經(jīng)銷商前，請勿立即退回產(chǎn)品。使用前的準(zhǔn)備 輸入電壓輸入220V，有穩(wěn)定的電流和電壓環(huán)境

使用的周圍環(huán)境條件

。易燃易爆空氣環(huán)境            。不穩(wěn)定的工作臺(tái)面.

。陽光直射的地方.             。潮濕的地方.

。腐蝕性的空氣環(huán)境.           。空氣污染灰塵重.

儲(chǔ)存和運(yùn)輸周圍環(huán)境儀器可以在下列的條件下儲(chǔ)存和運(yùn)輸：

周圍溫度……………………………………10°到60°C

高度………………………………………………7620公尺（25000英尺）

本機(jī)必須避免溫度的急劇變化，溫度急劇變化可能會(huì)使水氣凝結(jié)于機(jī)體內(nèi)部。

原始包裝：請保留所有的原始包裝材料，如果機(jī)器必須回廠維修，請用原來的包裝材料包裝。并請先與制造廠的維修中心聯(lián)絡(luò)。送修時(shí)，請務(wù)必將全部的附件一起送回，請注明故障現(xiàn)象和原因。另外，請?jiān)诎b上注明“易碎品”請小心搬運(yùn)。

四探針電阻測試儀的測試原理基于?電流-電壓分離測量法?，通過消除接觸電阻和引線電阻的影響實(shí)現(xiàn)高精度測量。其核心工作原理如下：

一、基本測量原理

?探針布置與功能分工?
四個(gè)探針以直線或矩形排列接觸被測樣品表面，外側(cè)兩探針（1、4號）連接恒流源施加穩(wěn)定電流，內(nèi)側(cè)兩探針（2、3號）連接高精度電壓表測量電勢差。

?電流探針?：驅(qū)動(dòng)電流注入樣品形成電場分布。

?電壓探針?：檢測非電流路徑位置的電壓差，避免接觸電阻干擾。

?電阻率計(jì)算模型?
根據(jù)電勢場分布規(guī)律，電阻率（ρ）計(jì)算公式為：

二、關(guān)鍵設(shè)計(jì)特性

?開爾文四線法優(yōu)化?通過獨(dú)立電流回路和電壓測量回路，消除引線電阻的影響，確保測量僅反映樣品本身特性。

?探針配置適應(yīng)性?

直線排列?：適用于大尺寸塊狀或板狀樣品，探針間距可調(diào)。

?矩形/正方形排列?：適合細(xì)長條狀或棒狀樣品，減少邊緣效應(yīng)干擾。

?儀器硬件特性?

探針采用碳化鎢材質(zhì)，配合寶石導(dǎo)套和彈簧壓力裝置，確保接觸穩(wěn)定性和耐久性。

數(shù)字電壓表分辨率達(dá)0.1μV，支持自動(dòng)量程切換和極性調(diào)節(jié)。

三、適用場景與優(yōu)勢

?主要應(yīng)用?
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、金屬薄膜、陶瓷等材料的電阻率和方阻測量，尤其適合微區(qū)或局部電學(xué)特性分析。

?技術(shù)優(yōu)勢?

?非破壞性?：表面接觸測量，不干擾材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

?高精度?：修正系數(shù)（如η/F）可適配不同幾何形狀樣品，減小邊緣效應(yīng)誤差。

?環(huán)境穩(wěn)定性?：測量結(jié)果受溫濕度等外部條件影響小。

四、典型儀器結(jié)構(gòu)示例（以BEST-300C型為例）

?電氣模塊?：集成恒流源、高精度電壓檢測及數(shù)字處理單元，支持電阻率/方阻自動(dòng)切換顯示。

?機(jī)械結(jié)構(gòu)?：配備高度粗調(diào)/細(xì)調(diào)裝置和壓力自鎖機(jī)構(gòu)，確保探針接觸壓力均勻可控

四探針電阻測試儀的應(yīng)用領(lǐng)域與優(yōu)勢

一、四探針電阻測試儀應(yīng)用領(lǐng)域

四探針電阻測試儀憑借其高精度和非破壞性特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

?半導(dǎo)體行業(yè)?

?硅片檢測?：測量半導(dǎo)體晶圓的電阻率，確保器件電學(xué)性能符合設(shè)計(jì)要求。

?摻雜均勻性評估?：通過電阻率分布分析，驗(yàn)證摻雜工藝的均勻性和一致性。

?擴(kuò)散層薄層電阻測量?：利用PN結(jié)隔離效應(yīng)，檢測半導(dǎo)體擴(kuò)散層的導(dǎo)電特性。

?新能源與太陽能材料?

?太陽能電池效率優(yōu)化?：測量光電材料的電阻率，為提升光電轉(zhuǎn)換效率提供數(shù)據(jù)支持。

?薄膜太陽能電池質(zhì)量監(jiān)控?：監(jiān)測薄膜材料的電阻率，確保生產(chǎn)工藝穩(wěn)定性。

?導(dǎo)電材料與薄膜技術(shù)?

?導(dǎo)電薄膜（如ITO、金屬膜）?：評估薄膜的電阻率與均勻性，適用于微電子器件和傳感器研發(fā)。

?新型導(dǎo)電材料（石墨烯、納米材料）?：量化導(dǎo)電性能，支持材料研究與開發(fā)。

?電池與能源行業(yè)?

?鋰離子電池極片電阻測量?：分析極片導(dǎo)電劑分布狀態(tài)，優(yōu)化漿料配方與涂布工藝。

?燃料電池電極性能測試?：檢測電極材料的導(dǎo)電特性，提升電池輸出效率。

?科研與工業(yè)檢測?

?大尺寸樣品直接測量?：支持150mm樣品或6英寸晶圓的快速掃描，無需特殊制樣。

?復(fù)雜形狀材料分析?：適用于塊狀、棒狀、薄膜等多種形態(tài)的材料測試。

二、四探針電阻測試儀技術(shù)優(yōu)勢

?非破壞性測量?

表面接觸式測試，避免對材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)造成損傷，適用于貴重或精密器件。

?高精度與重復(fù)性?

采用獨(dú)立電流-電壓分離回路設(shè)計(jì)，消除接觸電阻和引線電阻干擾，誤差<1%。

紅寶石軸承與碳化鎢探針組合，確保機(jī)械穩(wěn)定性和動(dòng)態(tài)測試重復(fù)性（<0.2%）。

?廣泛適用性?

支持電阻率范圍覆蓋10??–10? Ω·cm，適用于金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等各類材料。

探針間距可調(diào)配置（直線/矩形排列），適配不同形狀樣品，減小邊緣效應(yīng)誤差。

?操作便捷與環(huán)境穩(wěn)定性?

無需復(fù)雜制樣，可直接在工件或器件表面進(jìn)行測量。

測量結(jié)果受溫濕度影響小，適用于實(shí)驗(yàn)室與工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境。

?智能硬件與高效分析?

集成恒流源（0.5–2mA）、高分辨率電壓表（0.1μV）及自動(dòng)校準(zhǔn)功能。

支持電阻率/方阻自動(dòng)計(jì)算，搭配掃描功能生成材料電學(xué)特性分布圖。

通過以上特性，四探針電阻測試儀成為材料電學(xué)性能檢測的核心工具，兼顧科研創(chuàng)新與工業(yè)質(zhì)量控制需求

關(guān)鍵詞： 半導(dǎo)電電阻率測試  半導(dǎo)電絕緣電阻率測試