提高良率和可靠性的能力包括詳細的缺陷分析。由于器件內(nèi)的電壓或定時問題，邊緣故障的設(shè)計調(diào)試對于光學(xué)故障隔離系統(tǒng)可能更具挑戰(zhàn)性。想要確定參數(shù)失效的根本原因，通常需要故障定位在器件內(nèi)部的實際位置，并且擁有在不損壞器件或遮蔽缺陷的情況下進入相關(guān)電路的能力。

Thermo Scientific Meridian 7 系統(tǒng)可為 10 nm 以下器件提供可見光激光電壓成像 (LVI)、探測 (LVP) 和動態(tài)激光刺激 (DLS/LADA)。由于無超薄底物需求，此光學(xué)故障隔離系統(tǒng)在測試時保留了器件的完整性和功能性，提供的生產(chǎn)解決方案可靠且實用。

Meridian 7 光學(xué)故障隔離系統(tǒng)有兩種配置可供選擇：

• Meridian 7D 系統(tǒng)：1064 nm 和 785 nm 組合雙 SIL 激光掃描顯微鏡 (LSM) 系統(tǒng)

• Meridian 7S 系統(tǒng)：僅 785 nm LSM 系統(tǒng)，帶有用于高速測試的可選高級樣品冷卻，其中可能需要樣品熱管理以防止改變芯片性能帶來的熱逃逸

Meridian 7光學(xué)故障隔離系統(tǒng)的主要特點