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產(chǎn)品中心

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賽默飛世爾 Centrios 電路編輯系統(tǒng)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

用于快速原型設(shè)計(jì)和半導(dǎo)體電路調(diào)試和維修的電路編輯技術(shù)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:

電路編輯和快速原型設(shè)計(jì)

加快產(chǎn)品開發(fā)和縮短上市時(shí)間至關(guān)重要,因?yàn)殄e(cuò)失技術(shù)窗口或技術(shù)落后的代價(jià)可能極其昂貴。隨著每個(gè)新技術(shù)節(jié)點(diǎn)的設(shè)計(jì)和集成復(fù)雜性的增加,電路編輯工具對(duì)于管理成本、避免計(jì)劃延遲和優(yōu)化產(chǎn)品性能和功能具有戰(zhàn)略重要性。

利用合適的工具、工作流程和技術(shù),電路編輯可以幫助公司 減少光刻板旋轉(zhuǎn)、快速進(jìn)行原型設(shè)計(jì)并在計(jì)劃中支持客戶設(shè)計(jì)。

Thermo Scientific Centrios 和 Centrios HX 電路編輯系統(tǒng)專為復(fù)雜的半導(dǎo)體電路編輯而設(shè)計(jì),讓當(dāng)今和未來的半導(dǎo)體器件具有行業(yè)領(lǐng)先的精度、控制和性能。

Centrios HX 電路編輯系統(tǒng)

Centrios HX 電路編輯系統(tǒng)專為極先進(jìn)的前向和反向編輯功能而設(shè)計(jì),具有極 佳的編輯控制、精度和穩(wěn)定性。

Centrios HX 系統(tǒng)采用全新的 Thermo Scientific Celta 聚焦離子束 (FIB) 柱,在低束電流和低著陸能量下實(shí)現(xiàn)高分辨率,以便您準(zhǔn)確編輯并極大限度地減少電路損壞。Centrios HX 系統(tǒng)采用創(chuàng)新的雙噴嘴氣體輸送系統(tǒng),結(jié)合極廣泛的化學(xué)品產(chǎn)品組合以及較新的 FIB 技術(shù),可實(shí)現(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的高精度蝕刻和快速、高效的編輯。


Centrios 電路編輯系統(tǒng)

Centrios 電路編輯系統(tǒng)采用了經(jīng)現(xiàn)場驗(yàn)證的 Thermo Scientific Tomahawk WDR 離子柱,其性能強(qiáng)大且擁有成本高。Centrios 系統(tǒng)可為當(dāng)今成熟的工藝節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)精 準(zhǔn)的前向和反向編輯、快速原型設(shè)計(jì)以及硅片調(diào)試和修復(fù)。


主要特點(diǎn)

成像和減薄分辨率

Centrios 系統(tǒng) - 在低束電流下達(dá)到高分辨率,以便采用經(jīng)現(xiàn)場驗(yàn)證的 Thermo Scientific Tomahawk WDR FIB 柱和較新的束輪廓改進(jìn)進(jìn)行高效、安全編輯。

Centrios HX 系統(tǒng) - 在較低束電流下達(dá)到高分辨率,以便采用新型 Thermo Scientific Celta FIB 柱和較新的束輪廓改進(jìn)進(jìn)行高效、安全編輯。

增強(qiáng)的減薄精度和控制

使用同時(shí)雙噴嘴氣體輸送系統(tǒng)和專有氣體化學(xué)產(chǎn)品組合,實(shí)現(xiàn)高深寬比過孔的平面性/均勻性、去層/刻蝕停止和高銳度創(chuàng)建。

專用電路編輯平臺(tái)

Centrios 和 Centrios HX 電路編輯系統(tǒng)專為電路編輯設(shè)計(jì),可集成關(guān)鍵組件(如氣體化學(xué)法輸送),從而實(shí)現(xiàn)優(yōu)化的手動(dòng)和自動(dòng)化應(yīng)用。

運(yùn)行成本低

用于導(dǎo)航的 Thermo Scientific NEXS CAD 軟件和 Thermo Scientific iFAST 軟件可定制自動(dòng)化,提高效率和易用性。


性能數(shù)據(jù)


Centrios 系統(tǒng)

Centrios HX 系統(tǒng)

離子柱

  • Thermo Scientific Tomahawk WDR 離子柱,
    鎵液態(tài)金屬,1000 小時(shí)使用壽命

  • Thermo Scientific Celta FIB 柱

圖像分辨率

  • 30 kV 下 3.5 nm

  • 30 kV 下 2.5nm

射束電流

  • 1.2 pA – 65 nA

  • 最 大電流為 50 nA

載物臺(tái)

  • 5 軸電動(dòng)全對(duì)中

    • X、Y 運(yùn)動(dòng) 100 mm

    • 傾斜 -10° 至 60°

    • 旋轉(zhuǎn) 360°


終點(diǎn)檢測

  • 同時(shí) SE/標(biāo)本電流



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