簡介：

除了NANO型號(hào)，還有從手動(dòng)到自動(dòng)，單氣路-較多10氣路的多種等離子清洗機(jī)。

NANO等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式，主要有以下領(lǐng)域：

分析

考古

汽車行業(yè)

小批量生產(chǎn)

分析（REM,TEM）

醫(yī)療技術(shù)

滅菌

研究和開發(fā)部門

考古

紡織技術(shù)

塑料技術(shù)

特點(diǎn) 

多功能型模塊化設(shè)計(jì) ·  多種腔體可選擇

3.5\7寸觸摸屏人機(jī)交互界面(PCCE控制)

存儲(chǔ)50套工藝參數(shù)(PCCE控制)

三種頻率發(fā)生器可選擇

方形腔體1~5層分層電較為(PG/PF)

用途 

兼容6''及以下wafer的表面處理

適合于批量生產(chǎn)使用

用于不同材料表面的處理

技術(shù)參數(shù)：