德國BMT WLI VLA干涉儀

德國BMT WLI VLA干涉儀可快色準(zhǔn)確的測量粗糙和鏡面反射工件的表面輪廓?？捎糜跍y量平整度、波紋度、扭曲、臺階高度和多種其他表面特性。

產(chǎn)品特點：

粗糙和鏡面反射表面的微觀測量

平整度和輪廓測量

測量結(jié)果不受樣品的顏色和材料影響

測量時間短，數(shù)秒完成

測量范圍大

快速分析表面結(jié)構(gòu)

非常小巧

自動獲取數(shù)據(jù)并評估進(jìn)行

可定制各種配置

幾乎免維護

技術(shù)參數(shù)：

光源 LED

測量范圍 （mm) 15

垂直分辨率（nm） ≥1

橫向分辨率（μm） 20-80

測量面積 （mm） 10×10 40×40

工作距離 （mm) 24

數(shù)碼相機＜14位（Pixel） 1280×1024