低成本-高精度

Filmetrics讓3D光學輪廓測量的價格變得更加能夠接受。Profilm3D使用最 先進的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術。以前所未有的價格實現次納米級的表面形貌研究。

100mm自動Xy樣品臺

您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費用嗎？我們現在每臺Profilm3D都將100mm自動XY樣品臺，4孔物鏡轉臺和手動調平裝置作為標準配置。

超大的視場范圍

Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達到2mm的超大視場范圍，同時其最 大4倍光學變焦的功能緩解了不同應用時切換多個物鏡的需求。這些都進一步降低了采購成本。

性能規(guī)格

厚度范圍,WLI：50 nm - 10 mm 

厚度范圍, PSI：0 - 3 μm 

RMS 重復性, WLI^1：1.0 nm 

RMS 重復性, PSI ^1：0.1 nm 

臺階高度準確度² ：0.7% 

臺階高度精確度^3：0.1% 

臺階高度穩(wěn)定性^3：0.15% 0.05% - 100% 

ISO 25178兼容：是

機械規(guī)格

Z方向范圍：100 mm 

Piezo(壓電陶瓷)范圍：500 μm 

垂直掃描速度：12 μm/sec 

XY樣品臺種類：自動 

XY樣品臺行程：100 mm x 100 mm 

XY樣品臺最 大承重量：2.5 kg

樣品臺調平范圍：+/- 5°, 手動

相機參數：2592 x 1944 (5百萬像素)

相機光學變焦^4：1X, 2X, 4X

彩色成像：可選

設備尺寸, W x D x H：300 mm x 300 mm x 550 mm

設備重量：15kg

物鏡 ^5：(Nikon CF IC Epi Plan)

¹ 特征值

² 8 μm 臺階高度

³ 精確度是指每天測量30次10um臺階高度標樣的1次標準差，連續(xù)成功測量20天的平均值 。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1。C。

穩(wěn)定性是指連續(xù)成功測量10um臺階高度標樣20天，取每天測量30次數值的平均值，計算2倍標準差。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1。C。

⁴ 所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過數位化的pixel binning實現)

⁵ 分開銷售

⁶ 樣品上投影的像素大小

⁷ 樣品表面粗糙時可測最 大傾角將更大