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橢偏儀 ME-series 穆勒矩陣橢偏儀
- 品牌：納騰
- 型號(hào)： ME-series
- 產(chǎn)地：上海 徐匯區(qū)
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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上海納騰儀器有限公司
更新時(shí)間：2025-03-17 17:30:12 -
銷售范圍售全國(guó)
入駐年限第10年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照
- 同類產(chǎn)品橢偏儀(1件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- 基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制，實(shí)現(xiàn)全穆勒矩陣16個(gè)元素快速測(cè)量
用于各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學(xué)常數(shù)和納米結(jié)構(gòu)的表征 詳細(xì)介紹
ME-L穆勒矩陣橢偏儀
? 全自動(dòng)變角、對(duì)焦技術(shù)，一鍵快速測(cè)量
? 向?qū)Ы换ナ饺藱C(jī)果面，便捷的軟件操作體驗(yàn)
? 豐富的材料數(shù)據(jù)庫(kù)和算法模型庫(kù)，強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力
技術(shù)規(guī)格
型號(hào)
ME-L
應(yīng)用
科研級(jí)／企業(yè)級(jí)
基本功能
Psi/Delta 、 R/T 、穆勒矩陣等光譜
380-1000nm（支持?jǐn)U展至193-2500nm)
分析光譜
單次測(cè)量時(shí)間
≤15s
重復(fù)性測(cè)量精度
0.005nm
絕對(duì)精度
（直通測(cè)量空氣）
橢偏參數(shù)：4=45±0.05°△=0±0.1°
穆勒矩陣：對(duì)角元素 m=1±0.005 非對(duì)角元素 m=0±0.005
折射率重復(fù)性精度
0.0005
光斑大小
大光斑：2-4mm
微光斑：200μm/100um
超微光斑： ≤50um（取決于波長(zhǎng)）
重復(fù)性精度指標(biāo)針對(duì)100nmSi02/Si標(biāo)準(zhǔn)樣件30次重復(fù)性測(cè)量；
儀器具體技術(shù)參數(shù)需與實(shí)際功能模塊、配件有關(guān)，表中數(shù)據(jù)僅供參考。
可選配置： 波段選擇
V:380-1000nm
VN：380-1650nm
UV：245-1000nm
UN：210-1650nm
UV+ ：210-1000nm
DN：193-1650nm
DUV：193-1000nm
UN+ ：210-2500nm
DN+：193-2500nm
角度選擇：
自動(dòng)：45 ° -90°
手動(dòng)：45 ° -90°（5°步進(jìn)）
固定：65 °
其他選擇
Mapping選擇：100*100mm/200*200mm
溫控臺(tái)：190-550℃/RT-1000℃
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)