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多功能桌面型等離子清洗機(jī)PLUTO-M

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多功能桌面型等離子清洗機(jī)PLUTO-M 核心參數(shù)
樣品腔尺寸 φ210mm*230mm 樣品腔容積 約8L
射頻功率 200W 頻率 13.56MHz

產(chǎn)品特點(diǎn)

PLUTO-M是一種非破壞性的表面處理設(shè)備,它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù),在一定真空負(fù)壓的狀態(tài)下,以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性極高的氣體等離子體,該等離子體以一定能量作用于樣品表面,引起分子結(jié)構(gòu)改變和表面形貌的納米級(jí)變化,從而達(dá)到對(duì)樣品表面進(jìn)行改性和分解污染物的目的。
PLUTO-M是一款將真空式等離子體技術(shù)應(yīng)用于各種不同領(lǐng)域的研究性操作平臺(tái),除了實(shí)現(xiàn)常規(guī)清潔樣品和表面改性的功能外,通過(guò)添加不同的功能模塊,可以實(shí)現(xiàn)等離子體鍍膜,等離子體合成反應(yīng),等離子體純化等功能。極大的拓展該設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域。
等離子表面處理技術(shù)現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。PLUTO-M小型等離子表面處理設(shè)備以體積小、成本低、操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于科研及小批量生產(chǎn)場(chǎng)合。

詳細(xì)介紹

Pluto-M多功能等離子表面處理系統(tǒng)

    經(jīng)過(guò)多年技術(shù)創(chuàng)新和積累,PLUTO-M創(chuàng)新性將真空式等離子體技術(shù)應(yīng)用于各種不同領(lǐng)域的研究型操作平臺(tái),除了實(shí)現(xiàn)常規(guī)清潔樣品和表面改性的功能外,通過(guò)添加不同的功能模塊,可以實(shí)現(xiàn)等離子體鍍膜,等離子體合成反應(yīng),等離子體純化等功能,極大的拓展該設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域。

  應(yīng)  

污染物清洗

清洗玻璃、金屬、陶瓷、塑料等材料表面的有機(jī)物及其他污染物

表面活化

利用等離子體轟擊樣品表面,改變樣品表面張力和活性

鍍膜

采用等離子斷鍵功能的專用裝置,將鍍膜材料以納米級(jí)厚度均勻覆蓋樣品表面

等離子體刻蝕

對(duì)半導(dǎo)體材料、集成電路板、PCB板、塑料制品等材料進(jìn)行刻蝕

等離子體反應(yīng)

特別的工藝手段和裝置,可以實(shí)現(xiàn)等離子體與樣品的化學(xué)反應(yīng),并得到相應(yīng)物質(zhì)

粉體處理

粉體專用裝置,可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)顆粒的等離子體均勻處理,實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)性能


PLUTO-M參數(shù)(標(biāo)準(zhǔn)配置)

真空腔尺寸

不銹鋼腔體,φ210mm*230mm

電極尺寸

多控自適應(yīng)平板電極125*125mm

等離子體發(fā)生器

RF射頻發(fā)生器,頻率:13.56MHz;自適應(yīng)阻抗匹配電源

功率

0-200W連續(xù)可調(diào),精度1W

真空計(jì)

熱電偶真空計(jì)   0-1000mT

供氣

1路氣體,6mm國(guó)標(biāo)連接件(軟管)

控制方式

4.3寸觸摸屏,多級(jí)應(yīng)用菜單,操控簡(jiǎn)易快捷

抽氣裝置

飛躍   VRD-8,二級(jí)油泵8m3/h

外部尺寸

404*640*615mm

 

     

純鋁腔體

間距可調(diào)電極

等離子體發(fā)生器

RF 13.56MHz 300W/500W,自動(dòng)阻抗匹配電源

氣體收集裝置

用于收集等離子體化學(xué)反應(yīng)后的氣體

小型氧氣發(fā)生器

用于制備氧氣,可取代氧氣罐

氣體混合裝置

可根據(jù)客戶要求進(jìn)行混氣設(shè)計(jì)

加熱電極模塊

電極可以加熱,室溫-200℃可調(diào)

光譜儀模塊

可增加光譜儀的接口,檢測(cè)等離子體光譜變化

電極轉(zhuǎn)換模塊

可自由變換電極設(shè)計(jì),樣品可放在射頻電極上,也可以放在地電極上,從而實(shí)現(xiàn)不同的處理效果





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