Alpha-Step? D-500是最 新一代Alpha-Step探針式輪廓儀。創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率、較大的高度測量范圍和精 準(zhǔn)的微力控制。探針的接觸式測量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是直接測量，與材料特性無關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機(jī)臺對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行準(zhǔn)確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結(jié)構(gòu)改變引起的粗糙度和應(yīng)力變化。

Alpha-Step D-500包含140毫米手動載物臺和具有增強(qiáng)影像控制的高級光學(xué)器件。Alpha-Step輪廓儀體積小巧且久經(jīng)考驗(yàn)，專為高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所設(shè)計，可為半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體器件、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫(yī)療行業(yè)提供臺階高度、粗糙度和應(yīng)力測量。

系統(tǒng)優(yōu)勢

.  優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性

.  接觸式測量，適用于多種材料

.  測量軟材料的微力控制

.  梯形失真校正可消除側(cè)視視圖造成的失真

.  弧形校正補(bǔ)償探針的弧形運(yùn)動

主要應(yīng)用

.  2D表面形貌掃描

.  從納米級到1.2毫米的臺階高度測量

.  粗糙度和波紋度測量

.  樣品翹曲和曲率半徑測量

.  薄膜應(yīng)力測量（Stoney方程）

功能和選件概覽

采用類似 AFM  的光學(xué)杠桿技術(shù)，可快速響應(yīng)形貌變化

梯形失真校正可消除側(cè)視視圖造成的失真

主要應(yīng)用

2D臺階高度

測量從納米級到1200微米的2D臺階高度。對蝕刻、濺射、沉積、旋涂、

CMP和其他工藝中沉積或去除的材料厚度進(jìn)行量化。Alpha-Step輪廓儀能 夠提供微力，可以測量軟材料。

表面形貌：粗糙度和波紋度

測量2D表面形貌，同時用軟件過濾器來量化和區(qū)分粗糙度及波紋度，并計算諸 如均方根(RMS)粗糙度等參數(shù)。

表面翹曲度

測量表面的2D形狀或翹曲度，包括元件制造過程中不同工藝層材料不匹配 導(dǎo)致的晶圓表面翹曲，例如半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的多層沉積。 2D拼接可用于將多個掃描組合在一起，以完成對大于30毫米樣品的掃描和 翹曲度測量。測量彎曲結(jié)構(gòu)（例如透鏡）的高度和曲率半徑。

薄膜應(yīng)力

針對包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體元件，測量在其制造期間所引  起的2D應(yīng)力,使用應(yīng)力載臺將樣品支撐在中間位置以精確測量樣品的翹曲度， 并運(yùn)用Stoney公式通過樣品鍍膜前后形貌變化來計算應(yīng)力。

行業(yè)應(yīng)用廣泛

高校和實(shí)驗(yàn)室

Alpha-Step 探針式輪廓儀是任何高校、研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室的重要研究工具。 該系統(tǒng)能夠進(jìn)行接觸式的直接測量，結(jié)果與材料性質(zhì)無關(guān)。研究人員能夠測量 任何透明或不透明材料的沉積厚度。Alpha-Step 輪廓儀操作簡便，簡單培訓(xùn) 即可讓用戶快速掌握和使用。

二次離子質(zhì)譜（SIMS）產(chǎn)生的凹陷

精確測量二次離子質(zhì)譜（SIMS）所產(chǎn)生的凹陷的深度，以確定離子濃度和凹陷 深度的關(guān)系。測量凹陷底面的粗糙度，以表征離子束能量的均勻性。

試驗(yàn)性生產(chǎn)

Alpha-Step 探針式輪廓儀是小批量試驗(yàn)性生產(chǎn)的理想選擇。操作員可以在樣 品的多個位置快速聚焦和測量，以反映樣品表面的工藝變化。Alpha-Step 輪 廓儀的軟件還支持操作員、系統(tǒng)和批次信息的追蹤，以方便生產(chǎn)中的統(tǒng)計過程 控制。

常規(guī)應(yīng)用

Alpha-Step 探針式輪廓儀被廣泛用于生產(chǎn)或研發(fā)。例如測量紡織品安全特征  和與紡織品吸光率相關(guān)的粗糙度，還有消費(fèi)電子產(chǎn)品的應(yīng)用,包括測量觸摸屏形 貌和玻璃屏幕上的薄膜臺階高度。

半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

測量在半導(dǎo)體前段、后段和封裝工藝中的表面形貌，包括測量光刻膠厚度、蝕 刻深度、濺射高度、CMP前后形貌、粗糙度、樣品翹曲和應(yīng)力，以改進(jìn)生產(chǎn)工  藝控制。

硬件特征

探針選項

Alpha-Step輪廓儀提供多種探針用于測量臺階高度、高深寬比臺階、粗糙度、  樣品翹曲和應(yīng)力。探針針尖的半徑從100納米到50微米不等，這決定了測量的  橫向分辨率。探針角度從20到100度不等，這決定了所測量特征的最 大深寬比。 所有探針都采用金剛石制造，以增加其使用壽命。

樣品載臺

Alpha-Step輪廓儀有一系列可用于支持多種應(yīng)用的載臺。標(biāo)準(zhǔn)配置是一個鍍 鎳鋁載臺，適用于最 大直徑140毫米的樣品。黑色載臺可用于透明樣品，以最 大限度地減少載臺表面的反射。另外還有一款新的140毫米通用載臺，提供了 用于50-125毫米晶圓的精確定位銷。標(biāo)準(zhǔn)載臺和通用載臺都支持通過3點(diǎn)定 位銷進(jìn)行應(yīng)力測量，從而將樣品保持在中間位置進(jìn)行精確的翹曲度測量。

防震臺

Alpha-Step 輪廓儀提供多種桌面式獨(dú)立被動防震臺。

GraniteIsolator? 系列提供將花崗巖和高品質(zhì)硅膠墊結(jié)合在一起的桌面式  防震臺。Onyx 系列桌面防震系統(tǒng)使用充氣式防震臺，而 TMC 63-500  系列 防震系統(tǒng)由一個帶有充氣式防震臺的獨(dú)立鋼架組成。

臺階高度標(biāo)準(zhǔn)

Alpha-Step 輪廓儀使用VLSI提供的NIST可追蹤臺階高度的薄膜和厚膜標(biāo)準(zhǔn)

片，該標(biāo)準(zhǔn)片在石英片上制造了一個氧化物臺階，或在蝕刻的石英臺階上覆蓋了鉻 涂層。可用的臺階高度標(biāo)準(zhǔn)片范圍從8納米到250微米不等。

Windows 10 升級

將 Alpha-Step D-500  系統(tǒng)升級到 Windows10。最 新軟件支持

Windows10 64位操作系統(tǒng)，并提供對軟件新功能和未來開發(fā)功能的升級。

軟件功能

Alpha-Step 軟件

Alpha-Step 軟件包含多項功能，可提高易用性和生產(chǎn)力。

.       自動尋找臺階并測量臺階高度

.      用于粗糙度和波紋數(shù)據(jù)分析的高通和低通濾波

.      可以放置多個光標(biāo)組，用于表征單個掃描軌跡內(nèi)的多個特征

.      4 倍數(shù)碼變焦和先進(jìn)的影像控制，使探針保持在視野中心

.      最 大500萬像素的數(shù)字分辨率

.      支持手動拼接，以掃描超出單次掃描長度的樣品

Apex 軟件

Apex 軟件平臺擴(kuò)展了 Alpha-Step 系統(tǒng)的分析和報告功能。Apex 完全集成于輪廓 儀軟件中，并采用簡單直觀的格式，可以輕松創(chuàng)建自定義報告和自動數(shù)據(jù)處理。

.      支持多種語言

.       高級濾波、調(diào)平和分析功能

.      超過40種用于表征形貌的參數(shù)，包括坡度、平整度、承載比等

.      豐富的粗糙度參數(shù)，支持ISO、ASME和其他地區(qū)特定標(biāo)準(zhǔn)

.      文件中注釋與合格/不合格判斷

離線分析軟件

Alpha-Step 離線軟件具有與該機(jī)臺相同的數(shù)據(jù)分析和程式創(chuàng)建功能。這使用戶能夠 創(chuàng)建程式和分析數(shù)據(jù)，而不占用機(jī)時。

.      2D臺階高度的光標(biāo)分析法

.      2D粗糙度和波紋度分析

.      2D濾波和調(diào)平功能

.      樣品翹曲度測量和薄膜應(yīng)力計算

光學(xué)和探針式輪廓儀

我們的桌面式和產(chǎn)線自動化光學(xué)和探針式輪廓儀能夠測量任何表面的形貌。在 kla.com/products/instruments  官方網(wǎng)站上查詢更多信息。