技術(shù)指標(biāo):

1．縱向掃描范圍：0.1nm~1mm (標(biāo)配）

2．縱向量程：150nm/1mm

3．橫向取樣間隔：80~13100nm

4．垂直縱向分辨率：0.1nm

5．光學(xué)橫向分辨率：400~600nm

6．測量倍數(shù)：5×~100×
7．最大掃描速度：24um/s
8．樣品臺尺寸：100mm

主要功能：

材料二維和三維表面微觀形貌的測量，表面粗糙度、臺階高度和平面度的測量，測量表面薄膜，具有多點(diǎn)自動測量、數(shù)據(jù)縫合功能，可測量多種材料表面：不透明、透明、鍍膜、非鍍膜、反射、弱反射。