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產(chǎn)品中心

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SS-60系列掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品特點

SS-60系列臺式掃描電鏡具有體型小巧,占用空間?。?br /> 放大倍率30 ~60,000 X,15nm分辨率;
采用二次電子和背散電子雙重探測器;
SS-60掃描電鏡具有強大軟件功能,操作簡單,易于維護;
國產(chǎn)掃描電鏡,良好售后服務(wù)系統(tǒng)。

詳細介紹

產(chǎn)品說明:

 

(1)放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000 X);

(2)采用二次電子和背散射電子雙重探測器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector);

(3)5kV~30kV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution);

(4)通過選配EDS可進行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis);

(5)Tilt(0~90)載物臺配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))。

 

 

產(chǎn)品特性:

(1)臺式掃描電子顯微鏡,體型小巧,占用空間小;

(2)強大的軟件功能,單窗口操作界面,讓用戶操作方便簡單;

(3)軟件實現(xiàn)檢測圖形實時存儲;

(4)掃描電子顯微鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計簡潔,易于維護及保養(yǎng);

(5)自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。

 

 技術(shù)參數(shù):

 

分辨率 

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率

30~60,000 X

加速電壓

5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)

圖像檢測

二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SE+BSE)

觀察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

電子槍系統(tǒng)

燈絲類型

預(yù)對中鎢燈絲

偏壓系統(tǒng)

自動偏壓方式

電子槍校正

手動方式

透鏡構(gòu)成

聚光鏡

2段式磁線圈透鏡

物鏡

1段式磁線圈透鏡

探測器類型

SE Detector/ BSE Detector

載物臺系統(tǒng)

 自動或者手動

載物臺移動

3軸(X,Y,R)或5軸(X,Y,R,Z,T)

圖像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

樣品尺寸

高度40mm時直徑70mm

圖像掃描

快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自動功能

自動啟動,自動聚焦,自動亮度對比度調(diào)節(jié)

圖像存儲格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

數(shù)據(jù)顯示

放大倍率,探測器類型,電壓,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等

真空系統(tǒng)

 高真空模式

(旋轉(zhuǎn)式機械泵)Rotary Pump/100Liters/min

(渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空時間:3分鐘以內(nèi)

操控系統(tǒng)

 鼠標(biāo)和鍵盤

PC:臺式電腦(Desk Top)      

軟件

 圖像文件打開,編輯,存儲功能長度,面積,角度等測量功能,設(shè)置數(shù)初始化,圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換,Archives, Setting(EDS)模式等

體積

設(shè)備主機-410(W)×660(D)×600(H)mm
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm 

重量

 95kg

設(shè)備環(huán)境 

 溫度:15℃~30℃
   濕度:70% or less

  電源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz



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