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HCP421V-MPS 通用迷你溫控探針臺(tái) 真空腔
- 品牌：美國(guó)INSTEC
- 產(chǎn)地：美洲 美國(guó)
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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北京儀光科技有限公司
更新時(shí)間：2025-05-08 11:41:12 -
銷(xiāo)售范圍售全國(guó)
入駐年限第4年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類(lèi)產(chǎn)品探針臺(tái)(9件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- HCP421V-MPS Instec 的真空型 mini 臺(tái)式探針臺(tái)系列是可從外部移動(dòng) 探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái)，涵蓋多型號(hào)、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、 探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
HCP421V-MPS Instec 的真空型 mini 臺(tái)式探針臺(tái)系列是可從外部移動(dòng) 探針進(jìn)行點(diǎn)針的桌上型探針臺(tái)，涵蓋多型號(hào)、多溫度范圍。同時(shí)允許溫控、 探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè) 可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來(lái)防止樣品在負(fù)溫下結(jié) 霜，或高溫下氧化。功能特點(diǎn)mimi 型溫控探針臺(tái)，可集成到各種光學(xué)設(shè)備可編程控溫，涵蓋-190℃~400℃適用 10 mm ~26 mm 晶圓和器件可抽真空的腔體，亦可充入保護(hù)氣體使用獨(dú)立的四個(gè)探針，可從設(shè)備外部移動(dòng)探針進(jìn)行點(diǎn)針,模塊化設(shè)計(jì)，可自由組合*可升級(jí)為 8 個(gè)獨(dú)立探針可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDKSMA 接頭轉(zhuǎn) BNC 四探針，手動(dòng)點(diǎn)針*可選三同軸接口，用于 pA 級(jí)測(cè)試*可做定制或改動(dòng)，詳詢上海恒商溫控參數(shù)
溫度范圍 -190℃~400℃（負(fù)溫需配液氮制冷）加熱塊材質(zhì) 銀傳感器/溫控方式 最大升溫速率100Ω鉑 RTD / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）30℃/min最小溫控速度 ±0.01℃/min溫度分辨率 0.01℃ RTD 傳感器溫度穩(wěn)定性 ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）軟件功能 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線光學(xué)參數(shù)適用光路 反射光路窗片 可拆卸與更替的窗片最小物鏡工作距離 8/12 mm （可選） *截面圖中 WD上蓋窗片觀察 窗片范圍φ45mm，最大視角±50° *截面圖中θ 1負(fù)溫下窗片除霜 吹氣除霜管路結(jié)構(gòu)參數(shù)
適用樣品 26 mm 直徑 （標(biāo)準(zhǔn)）樣品腔高 4/8 mm （可選）探針座 可從外部 XYZ 移動(dòng)的探針臂 粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY 粗調(diào) 20mm XY 微調(diào)行程 10mm,Z 微調(diào) 3mm調(diào)節(jié)精度 10um氣氛控制 真空腔，也可充入保護(hù)氣體外殼冷卻 可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近臺(tái)體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg配置列表基本配置 真空型臺(tái)式探針臺(tái)、mK2000B 溫控器可選配件 安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、 防震桌、真空系統(tǒng)、測(cè)試源表、三同軸 BNC、臺(tái)面電懸空、 樣品接電引線
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)