臺(tái)面尺寸(mm)

60×60

60×42

臺(tái)面厚度(mm)

20

25

30

40

40

-

移動(dòng)量

粗調(diào)：±6.5mm；精調(diào)：±0.3mm

θx：±3°；θy：±3°

導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

線性滑塊導(dǎo)軌

交叉滾柱導(dǎo)軌

圓弧導(dǎo)軌

驅(qū)動(dòng)

分厘卡

分厘卡

主體材料及表面處

理

鋁合金，黑色陽(yáng)極氧化處理

鋁合金，黑色陽(yáng)極氧化處理

自重(Kg)

0.28

0.32

0.4

0.43

0.4

分辨率

粗調(diào)：≤10μm/刻度；精調(diào)≤0.5μm/刻度

θx：≤29.4″/刻度；θy：≤27.7″/刻度

靜態(tài)平行度

≤60μm

-

運(yùn)動(dòng)平行度

≤10μm

-

運(yùn)動(dòng)直線度

≤4μm

-

-

臺(tái)面曠量/前后

≤8μm

-

臺(tái)面曠量/左右

≤8μm

-

負(fù)載(Kg)

5

6

5

2.5

1.5