DMD無掩膜光刻機(jī)SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術(shù)的無掩模光刻設(shè)備，可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產(chǎn)任何微米分辨率的二維形狀，而不需要硬掩模。基于改進(jìn)后的標(biāo)準(zhǔn)投影技術(shù)，投影出具有微米分辨率的圖像，無掩膜光刻機(jī)SmartPrint無需任何進(jìn)一步步驟，就能直接從數(shù)字掩模光刻出您要的圖。無掩膜光刻機(jī)SmartPrint主要應(yīng)用是微流體，生物技術(shù)和微電子等領(lǐng)域光刻表面微納圖案。

無論您需要什么圖案——在微尺度上快速、輕松地完成

  尺寸：2um--25mm

  分辨率：低至0.7um

  厚度：可達(dá)100um

  形狀：簡(jiǎn)單到復(fù)雜的幾何形狀

它是怎樣工作的呢？

一個(gè)數(shù)字化掩膜圖案從計(jì)算機(jī)發(fā)送到SmartPrint的投影頭

一束明亮的光束透過一個(gè)μLCD陣列或DMD陣列反射

然后過濾并直接聚焦在光敏抗蝕劑上

應(yīng)用領(lǐng)域：

                 光器件                                                      微流控                                        微電子

關(guān)鍵特性：

• 直寫分辨率低至1.5um

• 可更換物鏡調(diào)節(jié)直寫區(qū)域和分辨率

• 兼容CAD文件和位圖圖像

• 兼容i, h和g線光敏電阻

• 兼容多種基材(硅、玻璃、金屬、塑料等)

• 兼容任何樣本大小，達(dá)到5英寸的方形掩模
  

• 相機(jī)反饋準(zhǔn)直

核心優(yōu)勢(shì)：

• 由于沒有硬掩膜版，節(jié)省了時(shí)間和成本
  

• 直觀的校準(zhǔn)方法，設(shè)計(jì)圖案直接覆蓋在樣品上

• 桌面式小尺寸

• 該技術(shù)非常適合微流體，2D材料，光電子，或任何其他二維微加工應(yīng)用