波長

193 nm

248 nm

308 nm

管材料

陶瓷

預電離

電暈處理技術

標準脈沖能量

20 mJ

40 mJ

25 mJ

平均功率
CL 5100
CL 5200
CL 5300

2 W
4 W
5 W

4 W
7 W
10 W

2.5 W
4.5 W
6.5 W

重復頻率
CL 5100
CL 5200
CL 5300

100 Hz
200 Hz
300 Hz

脈寬

8-10 ns

9-11 ns

脈沖能量穩(wěn)定度

sigma < 2%

光斑尺寸

5 x 12 mm

6 x 12 mm

光束發(fā)散角

2 x 4 mrad (stable resonator)

時間抖動

< 2 ns

尺寸, (重量)

800L x 330W x 571H мм (80 kg)

冷卻
CL 5100
CL 5200/5300

風冷
水冷（水流< 1L/min）

電源

220V / 50Hz, 10А, 不超過1000 VA

氣體

1 premix cylinder

控制接口

RS 232, DOS/Windows

波長

193  nm

248  nm

308  nm

重復頻率

500  Hz

脈沖能量

15  mJ

25  mJ

12  mJ

能量穩(wěn)定性

sigma  < 2%

光束尺寸 (V x H)

6  mm x 3,5 mm

6  mm x 4 mm

6  mm x 4 mm

光束發(fā)散角 (V x  H)

2  mrad x 1 mrad

脈寬

11  ns

12  ns

12  ns

產品尺寸（長*寬*高）

887mm  х 336mm х 454mm

重量

85KG

功耗

220V,  50Hz, 1kW

冷卻

water  < 1 liter/min

氣體

1  premix cylinder

操作系統(tǒng)

RS  232, Windows

波長

193 nm

248 nm

308 nm

管材料

陶瓷

預電離

火花

標準脈沖能量

250 mJ

400 mJ

300 mJ

平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100

5 W
10 W
20 W

8 W
20 W
35 W

6 W
15 W
25 W

重復頻率
CL 7020
CL 7050
CL 7100

20 Hz
50 Hz
100 Hz

脈寬

17 ns

20 ns

20 ns

脈沖穩(wěn)定度

sigma < 2%

光斑大小

6 x 20 mm

6 x 21 mm

7 x 22 mm

光束發(fā)散角

1.5 x 4.5 mrad

時間抖動

< 2 ns

尺寸, (重量)

1350L x 375W x 710H мм (170 kg)

冷卻
CL 7020
CL 7050
CL 7100

風冷
水冷（水流< 1L/min）
水冷（水流< 3L/min）

功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100

220V / 50Hz, 10А, 不超過1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超過 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超過 3500 VA

氣體

1 premix cylinder

控制接口

RS 232, DOS/Windows