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HOOL L9600 無應(yīng)力平面檢測干涉儀

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產(chǎn)品特點(diǎn)

無應(yīng)力平面檢測干涉儀(數(shù)字化相移分析系列)是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種,它采用國內(nèi)外SC的組合式激光干涉儀作為核心部件,主要用于GX檢測高精度平面,該產(chǎn)品包括光源、主機(jī)、成像以及鏡頭和相移等四大模塊,主要技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際YL水平,采用更加簡便操作的俯式測量,其擁有極高的JD測量精度PV和JD測量重復(fù)性RMS,并突破了一等平面平晶限制,且其采樣點(diǎn)可達(dá)上百萬像素,能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高,而且具有極高的測量效率。此款干涉儀可廣泛應(yīng)用高精度光學(xué)元件制造、計(jì)量檢測、生物醫(yī)學(xué)、航空航天、國防、微電子、能源等眾多領(lǐng)域,具有廣闊的市場前景。

無應(yīng)力平面檢測干涉儀(數(shù)字化動態(tài)分析系列)是一款具有在振動環(huán)境下測試能力和共光路特點(diǎn)的斐索型激光干涉儀。該干涉儀經(jīng)過特殊的光學(xué)設(shè)計(jì),配備慧利儀器自主開發(fā)的H&L Analysis 動態(tài)分析軟件,以及傳統(tǒng)激光干涉儀互配的各種附件,這使得該干涉儀在傳統(tǒng)技術(shù)無法進(jìn)行測試的環(huán)境中,仍能提供高速穩(wěn)定的檢測。該產(chǎn)品不僅具有廣闊的市場前景,而且填補(bǔ)了制造業(yè)和國家質(zhì)檢部門對高精度平面檢測設(shè)備需求的空白。

詳細(xì)介紹

系列一:數(shù)字化相移分析

應(yīng)用領(lǐng)域:

1.計(jì)量領(lǐng)域(平面平晶檢測),半導(dǎo)體工業(yè)(晶片檢測),大平板顯示(平面檢測),手機(jī)工業(yè)(背板檢測),光學(xué)加工(窗口玻璃檢測),高精度精密機(jī)械(平面元件檢測),LED工業(yè)(藍(lán)寶石襯底檢測),數(shù)據(jù)存儲和科研院校教學(xué)儀器等多種領(lǐng)域。

2.平面平晶、窗口玻璃、光學(xué)平面、金屬平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速測量,90°直角棱鏡和角錐測量。

性能參數(shù):

型號

HOOL LD9075A

HOOL LD9075AM

HOOL LD9200A

HOOL LD9200AM

HOOL LD9400A

HOOL LD9400AM

HOOL LD9600A

口徑

3/4"(19mm)

2"(50mm)

4"(100mm)

6"(150mm)

尺寸

L550*W395*H690

L550*W395*H850

L748*W498*H1040

L798*W598*H1080

重量

45kg

53kg

90kg

120kg


測量原理:

斐索干涉原理

光源波長:

632.8nm

樣品準(zhǔn)直:

使用兩個光點(diǎn)

電源:

220V 50HZ/110V 60HZ

操作系統(tǒng):

Windows7/10,32/64bit

CCD分辨率:

1280*960像素

軟件:

H&L-p 數(shù)字化動態(tài)分析軟件

精密度:

λ/600 PV

重復(fù)性:

λ/500 PV

重復(fù)性:

λ/1000 RMS

透射平面鏡精度:

λ/20 PV


系列二:數(shù)字化動態(tài)分析

應(yīng)用領(lǐng)域

1.工業(yè)計(jì)量檢測、光學(xué)鏡片檢測、光學(xué)加工車間、通訊、航天、汽車制造和消費(fèi)電子等工業(yè)加工現(xiàn)場的檢測。

2.平面平晶、窗口玻璃、光學(xué)平面、金屬平面、陶瓷平面等光滑表面面形的動態(tài)測量。


性能參數(shù):

型號

HOOL LD9075A

HOOL LD9075AM

HOOL LD9200A

HOOL LD9200AM

HOOL LD9400A

HOOL LD9400AM

HOOL LD9600A

口徑

3/4"(19mm)

2"(50mm)

4"(100mm)

6"(150mm)

尺寸

L550*W395*H690

L550*W395*H850

L748*W498*H1040

L798*W598*H1080

重量

43kg

51kg

86kg

116kg


測量原理:

斐索干涉原理

光源波長:

632.8nm

樣品準(zhǔn)直:

使用兩個光點(diǎn)

電源:

220V 50HZ/110V 60HZ

操作系統(tǒng):

Windows7/10,32/64bit

CCD分辨率:

1280*960像素

軟件:

H&L-d 數(shù)字化動態(tài)分析軟件

精密度:

λ/65 PV

重復(fù)性:

λ/50 PV

重復(fù)性:

λ/100 RMS

透射平面鏡精度:

λ/20 PV


配件

分析軟件:

慧利儀器針對各種儀器均配有強(qiáng)大的多功能分析軟件。

針對現(xiàn)行的中華人民共和國平面平晶國家檢定規(guī)程,慧利儀器軟件擁有此規(guī)程規(guī)定的參數(shù)的顯示界面。


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