掃描電鏡/FIB原位納米壓痕儀：布魯克Hysitron PI 88

 PI 88是布魯克公司生產(chǎn)的新一代原位納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，其大特點(diǎn)是系統(tǒng)設(shè)計(jì)高度模塊化，后期可在已有系統(tǒng)上自行配置并拓展其他功能。

真正實(shí)現(xiàn)直接觀察條件下的定量納米力學(xué)表征；高級(jí)的XYZ方向樣品定位，配合可選傾斜和旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)；模塊化設(shè)計(jì)，可搭載全套測(cè)試技術(shù)，包括800℃熱臺(tái)，劃痕，擴(kuò)展量程的傳感器，電學(xué)偏壓等。

輕松搭載定量納米力學(xué)測(cè)試

深入了解納米尺度下的力學(xué)性能

在您實(shí)驗(yàn)室已有的熟知儀器上獲得力學(xué)數(shù)據(jù)，在您電鏡上擴(kuò)展如下功能，包括:

1.納米壓痕微懸臂彎曲

2.微柱或微顆粒壓縮

3.拉伸測(cè)試

4.納米劃痕

整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程中始終如一的穩(wěn)定性

布魯克的原位解決方案專為電鏡環(huán)境下的出眾性能而設(shè)計(jì)。真空相容性/檢測(cè)器定位和機(jī)架柔度等相關(guān)因素均被嚴(yán)格考慮。我們專屬的傳感器技術(shù)確保實(shí)驗(yàn)過程中精細(xì)納米力學(xué)測(cè)量所需的靈敏度和穩(wěn)定性，而數(shù)位控制器提供了超快的反饋和數(shù)據(jù)采集率。因而應(yīng)力誘發(fā)變形過程之前、之中、之后都得以高速捕獲加以分析。

穩(wěn)定性和準(zhǔn)度

Hysitron PI88 配套一套真空適用的布魯克納米尺度傳感器和導(dǎo)電金剛石壓頭。通過傳感器中的靜電力施以載荷，電容記錄位移。低電流設(shè)計(jì)帶來的超低溫漂保證了前所未有的靈敏度。與傳感器配合的是一套在XYZ三軸方向均>8mm的高級(jí)樣品定位載臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)在較大樣品上超好的橫向精度以及線性和靈活定位。在這一簡(jiǎn)潔平臺(tái)機(jī)械繼承的載臺(tái)和傳感器為使用者提供了納米力學(xué)測(cè)試所需的穩(wěn)定、剛性的基礎(chǔ)。

該系統(tǒng)通過視頻接口將材料的力學(xué)數(shù)據(jù)（載荷-位移曲線）與相應(yīng)SEM視頻之間實(shí)現(xiàn)時(shí)間同步，允許研究者在整個(gè)測(cè)試過程中極其精確地定位壓頭并對(duì)變形過程成像。解決了傳統(tǒng)納米壓痕方法，只能通過光學(xué)顯微鏡或原位掃描成像觀察壓痕前后的形貌變化，因無法監(jiān)測(cè)中間過程，而終對(duì)載荷-位移曲線上的一些突變無法給出解釋甚至錯(cuò)誤解釋的問題。

PI 88安裝于SEM，可以精確施加載荷，檢測(cè)位移，在電鏡下進(jìn)行壓痕、壓縮、彎曲、劃痕、拉伸和疲勞等力學(xué)性能測(cè)試；此外，通過升級(jí)電學(xué)、加熱模塊，還可研究材料在力、電、熱等多場(chǎng)耦合條件下結(jié)構(gòu)與性能的關(guān)系。

800°C Heating

Electrical Characterization

Push-to-Pull Device

nanoDynamic Mode

nanoScratch Mode