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Femto Science 等離子清洗機(jī) 表面處理設(shè)備 CUTE

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產(chǎn)品特點(diǎn)

CUTE系列等離子清洗機(jī)來自韓國Femto Science公司,是一款無損傷的等離子體處理表面處理系統(tǒng),其獨(dú)特的設(shè)計(jì)保證了高度穩(wěn)定和均勻輝光放電等離子體產(chǎn)生,可應(yīng)用于微流控、組織工程、石墨烯、2D材料等納米科學(xué)以及微電子領(lǐng)域,適用于諸多材料表面清潔、疏水性增強(qiáng)、層間粘附、刻蝕等操作,標(biāo)配一路自動氣體流量計(jì),可實(shí)現(xiàn)對工藝氣體的精確控制。
CUTE系列等離子清洗機(jī),其艙體采用鋁合金制作,堅(jiān)固耐用且抗腐蝕,其艙體自帶顯示屏,配合顯示屏下方的操作按鈕,使用簡單,方便快捷。

詳細(xì)介紹


Femto Science 等離子清洗機(jī) 表面處理設(shè)備 CUTE

圖片

1 550.jpg

簡介

CUTE系列等離子清洗機(jī)來自韓國Femto Science公司,是一款無損傷的等離子體處理表面處理系統(tǒng),其獨(dú)特的設(shè)計(jì)保證了高度穩(wěn)定和均勻輝光放電等離子體產(chǎn)生,可應(yīng)用于微流控、組織工程、石墨烯、2D材料等納米科學(xué)以及微電子領(lǐng)域,適用于諸多材料表面清潔、疏水性增強(qiáng)、層間粘附、刻蝕等操作,標(biāo)配一路自動氣體流量計(jì),可實(shí)現(xiàn)對工藝氣體的精確控制。

CUTE系列等離子清洗機(jī),其艙體采用鋁合金制作,堅(jiān)固耐用且抗腐蝕,其艙體自帶顯示屏,配合顯示屏下方的操作按鈕,使用簡單,方便快捷。


規(guī)格參數(shù)

項(xiàng)目

參數(shù)

艙體材質(zhì)

鋁合金

艙體內(nèi)部尺寸

140mm x 200mm x 110mm

電源頻率

20~100kHz

電源功率

最 大100W 可自由調(diào)節(jié)

標(biāo)準(zhǔn)氣體輸入

1 x 氣路

額外氣體輸入

2 x 空管道可供升級

氣體流速控制

MFC自動控制

最 大流速

100sccm

氣體流速控制精度

滿量程的1%

真空泵抽氣速率

80L/min

最小真空

1 x 10-3 Torr

真空測量范圍

大氣壓 ~ 5 x 10-5 Torr

顯示

彩色觸摸屏,圖形化控制界面

操作員分級

2級操作人員分級

程序

可進(jìn)行半自動控制和全自動編程控制

參數(shù)存儲

最 大10組工藝參數(shù)儲存,每組工藝包含最多10個工藝步驟

功能圖解

2 550.jpg

3 600.jpg

應(yīng)用系統(tǒng)

PDMS芯片制作

石墨烯,2D材料表面處理

Bio-MEMS

組織工程

食品科學(xué)

 



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