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Best tools 勻膠顯影一體機(jī) SC100D

品牌：北京燕京電子
型號(hào)： SC100D
產(chǎn)地：北京朝陽(yáng)區(qū)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

北京燕京電子有限公司更新時(shí)間：2023-03-06 10:34:29

銷售范圍售全國(guó)

入駐年限第6年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品PMDS芯片制備系統(tǒng)(8件)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

SC100D勻膠顯影機(jī)是在SC100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)的基礎(chǔ)上增加了顯影系統(tǒng)，被設(shè)計(jì)為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。
SC100D在SC100勻膠機(jī)上增加了顯影液防濺罩，zui多可配備四路噴淋系統(tǒng)，包括顯影液和去離子水等，以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動(dòng)噴液系統(tǒng)包括：噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。
SC100D使用工業(yè)級(jí)伺服馬達(dá)和高級(jí)PLC控制，7寸全彩觸屏人機(jī)操作界面。設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，可進(jìn)行程控操作，具有優(yōu)異的性價(jià)比。

詳細(xì)介紹

Best tools 勻膠顯影一體機(jī) SC100D

圖片

1 550.jpg

簡(jiǎn)介

SC100D勻膠顯影機(jī)是在SC100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)的基礎(chǔ)上增加了顯影系統(tǒng)，被設(shè)計(jì)為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。

SC100D在SC100勻膠機(jī)上增加了顯影液防濺罩，最多可配備四路噴淋系統(tǒng)，包括顯影液和去離子水等，以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動(dòng)噴液系統(tǒng)包括：噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。

SC100D使用工業(yè)級(jí)伺服馬達(dá)和高級(jí)PLC控制，7寸全彩觸屏人機(jī)操作界面。設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，可進(jìn)行程控操作，具有優(yōu)異的性價(jià)比。

規(guī)格參數(shù)

項(xiàng)目	參數(shù)
基板最大直徑	8英寸
轉(zhuǎn)速	0~10000RPM可調(diào)
轉(zhuǎn)速控制精度	1RPM
加速度	10-50000RPM/S（空載）
程序	可編程100組100步程序
運(yùn)轉(zhuǎn)最大時(shí)長(zhǎng)	3000S
時(shí)間設(shè)置精度	0.1S
顯示	7”全彩觸摸屏
機(jī)體材料	HDPE內(nèi)腔，SUS外殼，耐溶劑PC透明蓋