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多位晶圓四探針測(cè)試儀

銷(xiāo)售范圍售全國(guó)

入駐年限第10年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照

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詳細(xì)介紹

結(jié)合jandel公司生產(chǎn)的四探針探頭對(duì)晶片的電阻率進(jìn)行測(cè)量。

主要特點(diǎn)：

可簡(jiǎn)單預(yù)設(shè)待測(cè)晶片上1到25個(gè)測(cè)量位置；

8英寸/6英寸晶片真空吸盤(pán)；

帶有電流開(kāi)關(guān)的杠桿操作探頭，可避免產(chǎn)生火花；

定位精度小于±1mm；

幻燈片準(zhǔn)確度不高于測(cè)量區(qū)域；

遮蓋待測(cè)區(qū)域，消除光電干擾；

技術(shù)指標(biāo)：

8型號(hào)表	具有真空卡槽、定心凹槽，鑷子切口的硬鋁合金
晶片尺寸	Φ=5/6/8
預(yù)設(shè)測(cè)量位置	中心點(diǎn)：垂直直徑四個(gè)點(diǎn)，32，38，50，57，68，94mm 晶片 1/2R 距邊緣6mm 5 32mm 57mm 6 38mm 68mm 8 50mm 94mm
6號(hào)晶片尺寸	Φ=3/4/5/6
預(yù)設(shè)測(cè)量位置	中心點(diǎn)；垂直直徑四個(gè)點(diǎn)，15，20，25，35，50，60mm
可配	真空線路、真空泵
外形尺寸	355mm * 215mm * 195mm（H）
凈重	6：3.5kg 8：4.0kg