Theta Probe平行角分辨XPS微探針

Thermo Scientific Theta Probe是一款小光斑X射線光電子能譜儀，無需樣品傾斜即可進行角分辨譜收集，具備非破壞性超薄膜表征功能。
新興技術依賴于固體表面次表面區(qū)域的工程改性。這些技術包括生物醫(yī)學設備，表面改性聚合物以及應用于先進半導體器件的材料。對于這種類型的材料，確切了解表面幾個納米尺度內的組成至關重要。Theta Probe是一款通過平行角分辨XPS（PARXPS）測試的獨特XPS。Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)內的先進軟件處理所有ARXPS數(shù)據(jù)，并生成準確的分析結果。

XPS是眾多材料特性表征技術中行之有效的測試手段，目前已成為從生物材料到半導體材料等許多技術領域先進材料開發(fā)的重要工具。Theta Probe的角分辨特征使其成為表征材料表面數(shù)納米組成的理想分析手段。這些包括自組裝單層膜，表面改性聚合物以及半導體器件。

主要特征

高性能X射線光電子能譜儀

ThetaZG技術提供了平行收集超過60°角范圍角分辨X射線光電子能譜的獨特能力，無需樣品進行傾斜，允許儀器對超薄膜樣品進行非破壞性表征。
X射線單色器用戶可選光斑大小范圍15μm至400μm
平行角分辨X射線光電子能譜（PARXPS）分析無需傾斜樣品
具備安裝大樣品或多外樣品
基于Windows的Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制
CCD樣品校準顯微鏡垂直于樣品表面

透鏡、能量分析器和檢測器
光電子通過電磁透鏡大角度（60°）收集
如此大的接收角使靈敏度最大化，允許在PARXPS測試時大角度范圍收集光電子
透鏡軸線與一般樣品成50°角，因此光電子在超過20°至80°角范圍（相對于一般樣品）內被收集
180°半球能量分析器輸出面配置二維檢測器
二維檢測器提供了多通道檢測手段，擁有多達112個能量通道和多達96個角通道
Theta Probe中的透鏡功能獨特，因為它可以在兩種模式操作：
普通模式，在沒有角分辨測試需求時收集光譜
角分辨模式

X射線光源
所有Theta Probe儀器均配置微聚集單色器。
用戶可以通過選擇15μm至400μm范圍內的光斑大小來定義分析區(qū)域面積。

深度剖析
數(shù)字化控制的EX05離子槍是可用于提供優(yōu)異的深度剖析測試，即便使用低能離子
樣品多方位旋轉可用于的深度剖析測試。

樣品安裝

所有Theta Probe儀器均配置電機驅動五軸樣品臺。
樣品臺可安裝大樣品移動范圍X軸和Y軸70mm，Z軸（高度）25 mm。

真空系統(tǒng)

分析室使用5毫米厚鉬合金材料制造，最大限度地提高磁屏蔽效率，而不是使用效率較低的內部或外部屏蔽。

樣品制備
如需要，儀器可以配置系列制備室之一。

Thermo Scientific表面分析儀器和部件由Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制：

軟件集成了測試分析的所有方面，包括儀器控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理和報告生成基于Windows的軟件包，可以通過網絡遠程控制，輕易實現(xiàn)與第三方軟件如微軟Word軟件兼容負責從樣品分析到報告生成整個測試分析過程 。

產品應用領域

氧化石墨烯的物理化學變化測控、半導體晶片上的超薄薄膜結構分析、分層太陽能電池、觸摸屏復合涂層的檢測評估、等離子表面改性、鋼鐵表面鈍化工藝評估、BN玻璃、MEA燃料電池、耐磨鍍層石油催化劑成像、食品安全聚合物包裝材料、MAGCIS深度剖析單一頭發(fā)纖維。