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產(chǎn)品中心

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IoN Wave 10E 德國(guó) PVA TePla 等離子去膠機(jī)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

IoN Wave 10E 德國(guó) PVA TePla 等離子去膠機(jī), 使用zuixin的、性能出色的組件和軟件,可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

           

德國(guó) PVA TePla 等離子去膠機(jī)

型號(hào):IoN Wave 10E等離子去膠機(jī)

IoN Wave 10E等離子去膠機(jī)是我們?cè)谖⒉ǖ入x子處理工藝中的zuixin產(chǎn)品。該批次式晶圓灰化設(shè)備成本低廉、尺寸適中、性能先進(jìn),特別適用于工廠、科研院所等領(lǐng)域。

IoN Wave 10E使用zuixin的、性能出色的組件和軟件,可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。它的工藝監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集軟件可實(shí)現(xiàn)最嚴(yán)格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、MEMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。

IoN Wave 10E占地面積很小,安裝和維護(hù)簡(jiǎn)單。依靠微波等離子技術(shù),該設(shè)備在提供極高的光刻膠灰化速度的同時(shí),大程度的降低了產(chǎn)品暴露在靜電放電(ESD)中。

 

先進(jìn)的功能性:

 

。臺(tái)式設(shè)計(jì),占地面積小

。石英腔室最大可容納8寸的晶圓,最多同時(shí)裝載25片6寸晶圓

。使用Windows操作系統(tǒng)的工業(yè)計(jì)算機(jī)控制

。符合Semi E95-1101要求的圖形用戶界面(GUI)

。軟件提供了不同的用戶訪問(wèn)權(quán)限:操作員、工藝編寫(xiě)、維護(hù)

。通過(guò)以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程工藝監(jiān)測(cè)

。機(jī)載診斷功能和報(bào)警記錄

。工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

。液晶觸摸屏(LCD)操作面板

?;谠诰€網(wǎng)絡(luò)的模擬、培訓(xùn)和支持程序

。安裝簡(jiǎn)單快捷

 

 

典型應(yīng)用

。 去除光刻膠

。 晶圓打膠

。濕法刻蝕前的晶圓清潔

。去除SU-8

。 刻蝕鈍化層

。失效分析中的器件開(kāi)封

。 清潔和表面活化

。化學(xué)微量分析中的低溫材料灰化

。 過(guò)濾器和濾膜的清潔 

 

 

規(guī)格參數(shù)

工作腔室

材質(zhì)                                            石英

尺寸                                            248mm直徑 x 397 mm長(zhǎng)

腔門(mén)處直徑                                 241mm

容積                                           19.2 升

工藝氣體控制                            最多至6路氣體,MFC控制

基礎(chǔ)壓力                                    0.07 mbar (50 mTorr)

工藝壓力                                    0.5 – 1.5 mbar (375 – 1125 mTorr)

抽真空時(shí)間                                大約1分鐘

 

 

微波發(fā)生器

頻率                                            2.45 GHz

輸出功率                                    最大1200W

 

 

供給需求

電源                                           220V,50 Hz,單相

工藝氣體                                   輸入壓力1-2 Bar

壓縮空氣                                   4-6 Bar,流速最高 56 升/分鐘   (間歇式)

吹掃氣體                                   1.3-2.7 Bar,流速最高 28 升/分鐘 (間歇式)

尺寸 寬/高/深                            775 x 749 x 781 mm

重量                                           135 千克

    

可選配置

。 推拉門(mén)

。 石英舟支撐桿

。溫控板

。 1%精度的真空規(guī)

。 壓力控制器

。指示燈柱

 

。 條形碼閱讀器

。 工藝氣體切換器

。 光譜終點(diǎn)檢測(cè)器

。 法拉第桶(次級(jí)等離子體)

。陶瓷腔室,耐化學(xué)腐蝕密封圈

。 打印機(jī)

。 油泵或干泵

 


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