美國SVT公司的RF等離子源適用于多個公司多種型號。

 法蘭接口包括： 2.75''、4.5''、6''。

    等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會產(chǎn)生高能離子。

 產(chǎn)生的束流含有零離子，有助于生長高質(zhì)量的薄膜，也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。

高生長率等離子體源能夠在生長速率大于4μm/hr的情況下生長高質(zhì)量的薄膜。

光闌和等離子腔形狀可以顧客定制，以滿足客戶對不同流量的需求。

 軟件作為可選項，能夠?qū)崿F(xiàn)自動操作，允許用戶保存數(shù)據(jù)，編寫工藝程序。

特點

可提供N2、O2、H2等離子源

生長速率大于4μm/hr

源設計有等離子體觀察窗口

光闌和等離子腔形狀可以客戶定制

RF自動調(diào)節(jié)可選