新型的全自動薄膜測量分析工具，工業(yè)化設計，操作簡單，可在幾秒鐘內完成全自動測量和分析，并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質量控制理想的解決方案。

技術參數(shù)：

光譜范圍：450-1000 nm

多種微光斑自動選擇

ZL光斑可視技術，可觀測任何樣品表面

CCD探測器

自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調節(jié); Z軸高度>35mm

70度角入射

主要特點：

完全自動化設計，一鍵式操作，直接報告輸出
液晶調制技術，測量光路中無運動部件
CCD探測系統(tǒng)，快速全譜輸出
多個微光斑尺寸選擇，ZL可視技術
封閉式樣品倉