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全新壓電阻自感應懸臂梁AFM探針

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詳細介紹

SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年,公司的主要業(yè)務是制造和銷售硅基壓電阻式自感應AFM探針。這種全壓電式懸臂,在AFM、納米級、力測量等傳感應用領域都有全新的應用。公司的多學科團隊由物理、商業(yè)和金融、半導體和微電子學、電子工程和生物科學等領域的專家組成。除了自己的團隊之外,SCL-Sensor.Tech還與著 名高校:University of Tampere (UTA),école Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 許多領xian的研究團隊合作,同時與著 名儀器生產商GETec公司合作,密切接觸前沿研究和開發(fā)。


     
    自感應懸臂探針安裝了一個全壓電電阻式的惠特斯通電橋,兩個可變電阻在懸臂上,兩個在晶片上可以直接測量懸臂的信號,從而避免了光學技術對空間要求。這種懸臂式芯片被連接在一個小的PCB上,帶有一個小的連接器,用于快速和高度可重復的懸臂交換。傳感器信號是通過一個小型的前置放大器PCB來讀出和放大的。這使得與各種儀器,如SEM,TEM和許多其他測量系統(tǒng)的簡單無縫集成。這種自感的懸臂可以滿足各種共振頻率和彈性系數的要求。
    SCL提供了PRS(Piezo-Resistive Sensing)不可加熱的懸臂AFM探針和PRSA(Piezo-Resistive Sensing & Active)可加熱的懸臂AFM探針。我們建議用塑料鑷子更換 裸懸臂AFM探針,用鋼鑷子來更換固定在PCB板上的懸臂AFM探針。
常規(guī)自感應懸臂梁探針(針尖材質Si)Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip 

    左圖展示的是標準的SCL自感應懸臂探針的,半徑小于15納米。正常情況下,懸臂探針會預先安裝特制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下側有一個10pin的連接器。如果有特殊要求,我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本,可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing) 
型號列表: 
PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP   我們可以提供兩中特定頻率范圍內使用的探針(中頻為50 kHz或80 kHz),頻率取決于懸臂的厚度。當選擇沒有PCB板的裸探針時(PRSA-L300-CHP)時,使用的頻率范圍是未知的,因為這些參數不能在沒有電觸點的情況下測量。  詳情請參見:                


共同特點Common 


針尖銳度Silicon tip radius (rtip)

< 15 nm

長寬Cantilever length, width (l/w)

l = 305 μm, w = 110 μm

靈敏度Sensitivity (s)

1-2 μV/nm

應用Applications

AFM, 納米探測, 結合 SEM/TEM的力學探測.

PRSA-L300-F50-Si-PCB


共振頻率Resonant frequency (fR)

fR = 30~65 kHz

剛度Stiffness (k)

k = 1~15 N/m

PRSA-L300-F80-Si-PCB


共振頻率Resonant frequency (fR)

65...95 kHz

剛度Stiffness (k)

15...56 N/m

 
PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP 
 

PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP


針尖銳度Silicon tip radius (rtip)

< 15 nm

長寬Cantilever length, width (l/w)

l = 70...85 μm, w = 30 μm

靈敏度Sensitivity (s)

3 μV/nm

應用Applications

AFM, 納米探測, 結合 SEM/TEM的力學探測.

共振頻率Resonant frequency (fR)

500...1300 kHz

剛度Stiffness (k)

35...400 N/m

 


自感應懸臂梁(不含針)Self-Sensing Cantilever without Tip (Tipless)


   這是一種特殊類型的SCL的自感應懸臂,沒有探針針尖,可將自己設計制造的針尖粘在其上或者直接粘上樣品,滿足個性化的需求。這種無探針的懸臂尤其適用于扭矩磁力儀、力感測力、氣體特性測量,以及更多的應用。正常情況下,懸臂探針會預先安裝特制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下側有一個10pin的連接器。如果有特殊要求,我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本,可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing) 
型號列表: 
PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP    我們可以提供兩中特定頻率范圍內使用的探針(中頻為50 kHz80 kHz),頻率取決于懸臂的厚度。當選擇沒有PCB板的裸探針時(PRSA-L300-CHP)時,使用的頻率范圍是未知的,因為這些參數無法在沒有電觸點的情況下測量。 
 

共同特點Common


長寬Cantilever length, width (l/w)

l = 300 μm, w = 110 μm

靈敏度Sensitivity (s)

1...2 μV/nm

應用Applications

扭矩磁力儀,力感應,氣體特性,特殊針尖的安裝

PRSA-L300-F50-TL-PCB


共振頻率Resonant frequency (fR)

fR = 30...65 kHz

剛度Stiffness (k)

k = 1...15 N/m

PRSA-L300-F80-TL-PCB


共振頻率Resonant frequency (fR)

65...95 kHz

剛度Stiffness (k)

15...56 N/m

 
PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP 
 

PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP


長寬Cantilever length, width (l/w)

l = 100 μm, w = 48 μm

靈敏度Sensitivity (s)

1...3 μV/nm

應用Applications

扭矩磁力儀,力感應,氣體特性,特殊針尖的安裝

共振頻率Resonant frequency (fR)

fR = 250...550 kHz

剛度Stiffness (k)

k = 14...170 N/m

 
PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP 
 

PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP


長寬Cantilever length, width (l/w)

l = 450 μm, w = 100 μm

靈敏度Sensitivity (s)

1...2 μV/nm

應用Applications

扭矩磁力儀,力感應,氣體特性,特殊針尖的安裝

共振頻率Resonant frequency (fR)

14...48 kHz

剛度Stiffness (k)

0.5...24 N/m

 


自感應基礎套件(DIY必備)
Self-Sensing Starter-Kit 
    自感懸臂探針的每個應用中沒有激光擾度探測,無法直接用于普通AFM設備里,需要我們提供的自感應基礎套件。該基礎套件為您提供了所有基本但必要的配置,可以立即開始使用自感應懸臂(探針)。自感應基礎套件包含以下內容: 
 
?  低噪聲懸臂信號前置放大器(下圖。2)
?  連接前置放大器到懸臂和后加工設備(鎖定放大器,AFM控制器等)的電纜。(1 + 3)
?  10個自我感覺的懸臂(4) 
 


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