法國Hprobe公司于2017年3月在法國格勒諾布爾地區(qū)成立，旨在為集成電路領(lǐng)域提供快速、準(zhǔn)確和靈活的測試設(shè)備，主要應(yīng)用方向?yàn)?strong style="position:relative;line-height:2em;font-size:14px;font-family:Microsoft YaHei;color: rgb(0, 51, 102)" data-x-flag="11_32">磁隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(MRAM)。MRAM技術(shù)作為芯片上系統(tǒng)嵌入式內(nèi)存(SoC)的替代技術(shù)，越來越多的微電子行業(yè)的主要廠商對MRAM技術(shù)感興趣，相應(yīng)的高端測試設(shè)備需求也隨之增加，而Hprobe公司生產(chǎn)的IBEX-300晶圓級(jí)超快三維磁場探針臺(tái)為一個(gè)不錯(cuò)的選擇。 

Hprobe IBEX 300-1C		Hprobe IBEX 300-2C

  IBEX-300晶圓級(jí)超快三維磁場探針臺(tái)     相比于其他的探針臺(tái)， IBEX-300晶圓級(jí)超快三維磁場探針臺(tái)是專門用于晶圓片在磁場作用下的表征和測試的儀器，它使用ZG的三維磁場發(fā)生器和zui先進(jìn)的可定制硬件，為磁性器件（傳感器和存儲(chǔ)器）的開發(fā)、工藝和生產(chǎn)帶來了完整的測試解決方案。
 Hprobe探針臺(tái)主要特點(diǎn)：
 

 主要應(yīng)用方向：

■   磁性隧道結(jié)■   磁隨機(jī)存取存儲(chǔ)器■   集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)■  智能傳感器 Hprobe探針臺(tái)技術(shù)原理 

探針臺(tái)采用獨(dú)特的ZG三維磁場發(fā)生器，每個(gè)磁場空間軸獨(dú)立驅(qū)動(dòng)。利用這3個(gè)自由度，用戶可以在任意空間方向應(yīng)用和控制場，也可以生成旋轉(zhuǎn)場。三維磁場裝置配備了所有相關(guān)配件，測試程序和磁鐵校準(zhǔn)工具包。    三維磁發(fā)生器置于探針臺(tái)頂部，并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場。為了適應(yīng)器件測試設(shè)計(jì)，探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中。磁場發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調(diào)，取決于所使用的探針卡和探針。

三維磁場裝置

Hprobe探針臺(tái)相關(guān)參數(shù) 

IBEX-300操作視頻演示 
   

快速掃場能力

Hprobe探針臺(tái)儀器配置     

Hprobe探針臺(tái)配備整套儀器驅(qū)動(dòng)和測量大多數(shù)磁性器件，如MRAM (STT、SOT、電壓控制)、傳感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。儀器可以包括源表和測量單元（SMU）、數(shù)字萬用表（DMM）、任意波形發(fā)生器（AWG）、脈沖發(fā)生器（PG）、交換矩陣、數(shù)據(jù)采集板等。其他儀器可根據(jù)要求提供，并且可以很容易地集成到工具的硬件和軟件中。 

任意波形發(fā)生器（AWG） ■   雙通道, 帶寬 40MHz ■   正弦波, 方波 & 脈沖 至30MHz ■   斜波 & 三角波 至 200kHz ■   任意波形 < 1M 采樣/通道 ■   大采樣速率 250M 采樣/秒		脈沖發(fā)生器（PG） ■   脈沖寬度小至 200 ps ■  上升/下降時(shí)間< 70 ps (20%-80%) ■   輸出電壓  10 mVpp 至 5 Vpp ■   大重復(fù)頻率 500 MHz 每通道l ■   幅值 大至 5V
源表和測量單元（SMU） ■  電壓小量程 20mV ■   電流小量程 1nA ■   > 3,000 讀數(shù) /秒		數(shù)字萬用表（DMM） ■   18 位, 小量程 100mV ■  分辨率 10nV ■   小積分時(shí)間 10μ秒

 探針卡
    Hprobe探針臺(tái)使用非常靈活，用戶可以使用標(biāo)準(zhǔn)的商用探針卡，也可以使用帶有DC和RF探頭的微操作器。

測試程序

    該測試程序包含了所有滿足用戶需求的功能，從器件表征到產(chǎn)品開發(fā)，以及轉(zhuǎn)移至生產(chǎn)等。它以三種模式運(yùn)行:

■  標(biāo)定模式–設(shè)置磁場配置并創(chuàng)建用戶定義的圖形 ■  工程模式 –運(yùn)行預(yù)執(zhí)行的測試圖形或創(chuàng)建并運(yùn)行完整的自定義特性和測試 ■  產(chǎn)品模式 –從工程模式中設(shè)置具有優(yōu)化測試時(shí)間的測試程序

預(yù)先實(shí)現(xiàn)的測試模式包括(有或沒有磁場):

■  開路/短路 測試 ■  AC/DC I-V, R-V 測試 ■  AC/DC 擊穿電壓測試 ■  讀/寫脈沖測試 ■  R-H 角度/幅值 回線測試 ■  誤碼率測試 ■  器件循環(huán)和穩(wěn)定性測試