SUSS蘇斯光刻機(jī)用曝光燈HBO 200W/DC ,HBO 350W/S, HBO 1000W/D, HBO 5000W/S

詳細(xì)介紹

SUSS Micro Tecv美國蘇斯公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽能行業(yè)用光刻機(jī)，目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同，該系列光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的曝光燈，主要是由德國歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進(jìn)行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列，具備良好的光通量，穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下：

HBO? short-arc mercury varour lamps for microlithography

適用SUSS蘇斯光刻機(jī)型的曝光燈

燈管型號(hào)     壽命（H）    適用SUSS蘇期光刻機(jī)型

HBO 200W/DC    1000H       MJB3, MJB4

HBO 350W/S     600H       MA4, MA6, MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D    1000H      MA150,MA200,MA4,MA6, MA8

HBO 5000W/S    1000H      MA300

以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù),適用于SUSS蘇斯光刻機(jī)型：

其它相關(guān)SUSS蘇斯設(shè)備業(yè)務(wù)也可以咨詢我們,合作愉快,謝謝!