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MX61L半導(dǎo)體檢查顯微鏡

銷售范圍售全國

入駐年限第7年

營業(yè)執(zhí)照已審核

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聯(lián)系方式：400-822-6768

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產(chǎn)品特點(diǎn)

能對應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）

應(yīng)對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調(diào)節(jié)連動的亮度光圈等，實(shí)現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺，能應(yīng)對大型樣本。

半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡MX61L

半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng)			UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正）
機(jī)身	觀察方法		明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光
	反射/透射		反射/透射
	照明裝置		機(jī)身一體型（明視場，暗視場＋1選件）
	照明系統(tǒng)	反射照明	100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙
		透射照明	纖維光導(dǎo)
	對焦單元	電動/手動	手動
		行程	32 mm
		分辨率/微調(diào)靈敏度	微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動1周移動0.1 mm
		zui大樣本高度	30 mm
	物鏡轉(zhuǎn)換器	電動型	明視場微分干涉6孔明暗視場微分干涉5孔明暗視場微分干涉6孔明暗視場微分干涉中心輸出5孔
		手動式	-
載物臺	行程		14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范圍356×284 mm）
觀察筒	廣角視場（視場數(shù)22）	倒置	雙目/三目觀察筒
		正像	三目觀察筒
	超寬視場（視場數(shù)26.5）	倒置	三目觀察筒
		正像	傾斜三目觀察筒
附件單元			DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載
外形尺寸			710（W）×843（D）×507（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合）
重量			51 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合）