結(jié)構(gòu)緊湊，性能高

• 與現(xiàn)有型號(hào)相比，減少了20%的體積。

• 標(biāo)配可變壓力模式。

• 保證30 kV電壓時(shí)，二次電子3.0 nm的分辨率，
  背散射電子4.0 nm（6帕）

• 可滿足直徑153 mm，高60 mm的樣品

• 采用TMP真空系統(tǒng)，節(jié)省占地面積和電源功耗。