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NIL Technology - 納米壓印機(jī)
- 品牌:丹麥NIL TECHNOLOGY
- 型號: NIL
- 產(chǎn)地:歐洲 丹麥
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià):面議
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香港電子器材有限公司
更新時(shí)間:2025-05-08 08:58:35
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品納米壓痕機(jī)(2件)
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡介
NILT主要產(chǎn)品包括:
- 熱壓和紫外壓印服務(wù)
- 納米壓印模版
- 納米壓印設(shè)備
熱壓和紫外壓印服務(wù)
高分子聚合物中間層壓印技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)納米壓印/熱壓印非平面化的壓印,同時(shí)高分子聚合物中間層的熱塑彈性材料實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移和復(fù)制??杀Wo(hù)昂貴的母板因多次轉(zhuǎn)印而損壞,同時(shí)用于母板的復(fù)制。 材料方面
應(yīng)用方面
Silicon NIL 硅納米壓印模板
硅納米壓印光刻用于熱納米壓印光刻或作為母板的聚合物生產(chǎn)。 由客戶提供的一項(xiàng)決議規(guī)定下任何圖案分辨率達(dá)20nm納米和寬比可達(dá)1:10。
微透鏡陣列的定制模板
模板與凹形或凸形的微透鏡陣列用于通過熱壓印或注塑生產(chǎn)使用。
熔融石英NIL 壓印模板
熔融二氧化硅納米壓印光刻模板用于紫外納米壓印光刻技術(shù)。
NILT提供熔融石英模板,由客戶指定的任何模式下低于30nm和寬比可達(dá)1:5。
微流體和LOC墊片
通過熱壓印或注塑定制墊片的鎳生產(chǎn)微流體和實(shí)驗(yàn)室級芯片(LOC)系統(tǒng)。Nickel Shims鎳墊片
鎳墊片被用于熱壓印和輥到輥?zhàn)釉O(shè)置。 NILT提供鎳與郵票大小達(dá)600mm x 600mm,厚度降低到50μm。鎳墊片可以用圖形化的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)。
PDMS NIL 壓印模板
PDMS模板是由硅或熔融石英大師鑄造。 NILT提供的PDMS,分辨率降低到100 nm,具有高寬比可達(dá)1:2。
聚合物NIL 壓印模板
聚合物納米壓印光刻是由硅或石英玻璃制成的母板,典型地由熱納米壓印光刻工藝。 NILT任何聚合物并與客戶指定的任何模式提供聚合物模板。zui小i 分辨率I50nm,縱橫比可以高達(dá)1:3。
65-壓印模板
由熔融二氧化硅和用于紫外線步進(jìn) - 重復(fù)過程。 分辨率下降到50 nm,可定任何模式,縱橫比高達(dá)1:5。
納米壓印模版
Microlens Array 微透鏡陣列標(biāo)準(zhǔn)印記含有緊密堆積排列為蜂窩形狀與各個(gè)透鏡之間三維交叉點(diǎn)的微透鏡的結(jié)構(gòu) 直線和圓弧工程風(fēng)口
專為一組多功能設(shè)計(jì)擴(kuò)散器的研發(fā)工作,以及對產(chǎn)品和工藝的開發(fā)。
線柵型偏振Wire Grid Polarizer理想的生產(chǎn)線柵偏振器的通過納米壓印光刻,用于測試目的。郵票的特點(diǎn)為 12 mm x 12 mm,50 nm的線條和空間的大型活動(dòng)區(qū)域。 光柵光柵標(biāo)準(zhǔn)壓印成本低, 可印鏈路和支柱光柵圖案,客戶可根據(jù)不同規(guī)格來選擇。 防反光Anti-Reflective是大面積和高性價(jià)比的功能標(biāo)準(zhǔn)郵票鎳具有漸變折射率分布,并與不斷變化的有效折射率。 多點(diǎn)模式Multi-Pattern多模式標(biāo)準(zhǔn)壓印是**的納米壓印工藝試驗(yàn)NIL設(shè)備和測試。本標(biāo)準(zhǔn)郵票帶有線寬下降到50nm。 亞微米Sub-Micro標(biāo)準(zhǔn)壓印是**的內(nèi)部納米壓印光刻技術(shù)和熱壓測試和工藝開發(fā)。壓印包含4種不同尺寸和4種不同的模式。 大面積支柱型壓印大面積的支柱標(biāo)準(zhǔn)郵票是在硅谷高品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的印章與光子晶體和防反射結(jié)構(gòu)的大面積圖案。它有4個(gè)區(qū)域,每次1cm x 1cm,方形陣列的支柱。 Micro Test方形結(jié)構(gòu)陣列500nm非常適合納米壓印光刻技術(shù)和熱壓領(lǐng)域內(nèi)工藝試驗(yàn)。壓印的特點(diǎn)是具有3,5,10和20微米大小的方形石柱/孔陣列 微型標(biāo)準(zhǔn)壓印是**的內(nèi)部納米壓印光刻技術(shù)和熱壓測試和工藝開發(fā)。印模含有3種不同尺寸3個(gè)不同的圖案。 65-Stamps線寬至100nm. 微型注射針頭結(jié)構(gòu)The micro-needle standard stamp 微針標(biāo)準(zhǔn)戳記包含的微針的逆結(jié)構(gòu) - 即微針形孔。微針標(biāo)準(zhǔn)戳記可用于生產(chǎn)微針或者通過熱壓印或鑄造。 Diffraction Grating衍射光柵光柵的間距在這兩種情況下為500nm和光柵的平均深度為250nm。 ? 納米壓印設(shè)備
CNI - Thermal NIL Tool
EZI - UV NIL Tool
NIL Simprint Core v2.1 - 仿真軟件
NILT CNI 實(shí)驗(yàn)用納米熱壓印機(jī)是專為實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)和開發(fā)的簡單易用、性能穩(wěn)定的研發(fā)型設(shè)備,用戶可以通過CNI設(shè)備高效、低成本地實(shí)現(xiàn)高精度的納米熱壓工藝,許多知名的研發(fā)機(jī)構(gòu)均購買了CNI的設(shè)備。NILT CNI熱壓設(shè)備,占地小、操作簡便,可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的圖形復(fù)制,可實(shí)現(xiàn)納米熱壓設(shè)備的一切功能,而無需昂貴的工藝設(shè)備。
典型應(yīng)用:
在硅片上制作納米級光柵
壓印易碎的材料(例如III-V族材料)
微結(jié)構(gòu)加工
制作壓印印章
保護(hù)母版的適用壽命
熱壓高深寬比結(jié)構(gòu)圖形
主要性能:
可加工4英寸以下任意尺寸襯底
擁有ZG技術(shù)的卡盤設(shè)計(jì),可保證快速升溫、降溫并保持良好的溫度均勻性。
EZImprinting(EZI)納米壓印技術(shù)平臺(NTP)是一個(gè)獨(dú)立的納米壓印站包括自動(dòng)釋放?功能的納米壓印模塊和自動(dòng)印記控制器。
PLC屏幕程序控制
客戶可自由設(shè)置工藝參數(shù)
晶圓與模板由真空卡盤固定
兼容傳統(tǒng)的UV固化壓印膠工藝
4“晶圓,壓印區(qū)域?yàn)?”
壓印范圍:0 - 25PSI (可升級到100PSI)
壓印模板尺寸: 5 x 0.090"
產(chǎn)量預(yù)計(jì):<5分鐘/片
為了支援納米壓印用戶,節(jié)省了寶貴的時(shí)間在實(shí)驗(yàn)室上的印記參數(shù)的優(yōu)化,NILT提供Simprint仿真軟件。
該軟件提供了殘積層厚度 (RLT)的變化模擬,并協(xié)助確定**工藝參數(shù)。主要性能:
- 殘留層厚度模擬
- Fast full-chip 模擬
- 支援UV-NIL及熱壓NIL
- 模擬粗糙的基材的影響
Simprint Core v2.1 - 仿真軟件