產(chǎn)品簡介

SONIX?公司是世界500強(qiáng)丹納赫集團(tuán)(NYSE: DHR)下的全資子公司，是全 球超聲波掃描檢測儀和無損檢測設(shè)備的領(lǐng)xian制造商。 自1986年成立以來，SONIX?在無損檢測領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新，是第 一家基于微機(jī)平臺，提供全數(shù)字化成像方案的公司。 SONIX? 一直致力于技術(shù)革新，提供給客戶zui領(lǐng)xian的聲學(xué)檢測技術(shù)。

SONIX? 設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各種材料的無損檢測，包括半導(dǎo)體，汽車零件和其他先進(jìn)元件。 擁有獨(dú)立開發(fā)的軟件，硬件和ZG技術(shù)，這么多年來通過和客戶的不斷合作，實(shí)現(xiàn)了SAM技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)。 SONIX? 努力提供zui準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，wan美的圖像質(zhì)量，非凡的操作性和設(shè)備的高可靠性，從而為客戶提高效率，節(jié)約成本。

SONIX 軟件優(yōu)勢

可編程掃描，自動分析
定制掃描程序，一鍵開始掃描，自動完成分析，生成數(shù)據(jù)

FSF表面跟蹤線
樣品置于不平的情況下，自動跟蹤平面，獲取同一層面圖片

ICEBERG離線分析
存儲數(shù)據(jù)后，可在個人電腦上進(jìn)行再次分析

TAMI斷層顯微成象掃描
無需精確選擇波形，可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度，一次掃描可獲得200張圖片，快速完成分析。

SONIX 軟件 -  應(yīng)用于塑封FlipChip和Stacked Die產(chǎn)品的成像功能

SONIX^TM 的Flexible TAMI^TM設(shè)計(jì)

專為需要檢測由不同層厚和材料組成的多層封裝產(chǎn)品,例如:

● 3-D架構(gòu)
● Stacked Die
● Bonded wafers
● Wafer 級封裝 (WLP)
● 塑封Flip Chips

* 所有zuixin SONIXTM ECHO? 系列所選配的 TAMI?  功能都包含zuixin的 Flexible TAMI?  Gates

SONIX 硬件優(yōu)勢

緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

模塊化設(shè)計(jì)使得結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定，易于維護(hù)

高速、穩(wěn)定的馬達(dá)設(shè)計(jì)
    掃描軸采用zuixianjin的線性伺服馬達(dá)，提供高速、穩(wěn)定、無磨損的掃描

ZG的超聲波探頭/透鏡
提供精確的缺陷檢驗(yàn)，zui小能探測到僅0.1微米厚度的分層。

PETT技術(shù)

反射及透射同時掃描，有效提高元器件分析效率

封裝檢測設(shè)備

ECHO-VS?

SONIX ECHO VS? 是專為更高精度要求，更復(fù)雜元器件設(shè)計(jì)的新一代設(shè)備。廣泛應(yīng)用在 Flip chips，Stacked die，Bumped die，Bonded wafers 等。

● 高分辨率下，掃描速度是傳統(tǒng)超聲波掃描顯微鏡的2.5倍
● 獨(dú)有的波形模擬器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)
● 掃描分辨率小于1微米
● 水溫控制系統(tǒng)及紫外殺菌系統(tǒng)超高頻狀態(tài)工作下，信號更穩(wěn)定

ECHO Pro?
全自動超聲波掃瞄顯微鏡

全自動生產(chǎn)型:

● 批量 Tray盤和框架直接掃瞄 
● 編程自動判別缺陷 
● 高產(chǎn)量,無需人員重復(fù)設(shè)置 
● 自動烘干

晶圓檢測設(shè)備

AutoWafer Pro?

SONIX AutoWafer Pro? 是專為全自動晶圓檢測設(shè)計(jì)的機(jī)型，主要應(yīng)用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞、離層檢測，TSV量測方面。

● 使用于200和300mm晶圓
● 符合一級凈化間標(biāo)準(zhǔn)
● Cassette裝載，全自動檢測，支持FOUP或FOSB機(jī)械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議
● KLARF輸出文件

Pulse 2?  信號發(fā)生器/接收器 
- 適合所有 ECHO & AutoWafer 設(shè)備

超聲波探頭 - 適合所有 ECHO 系列

Sonix S-series Transducer 超聲波探頭是為了滿足半導(dǎo)體制造商的高要求而設(shè)計(jì)的:-

● 自家研發(fā)
● 頻率范圍寬闊
● 結(jié)構(gòu)堅(jiān)固