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上海微行PECVD型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

品牌：上海微行爐業(yè)
型號(hào)： PECVD型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)地：江蘇蘇州
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥88888

上海微行爐業(yè)有限公司更新時(shí)間：2018-05-19 10:40:01

銷(xiāo)售范圍售全國(guó)

入駐年限第8年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核

同類(lèi)產(chǎn)品工業(yè)爐(24件)

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聯(lián)系方式：400-822-6768

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上海微行PECVD型等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 核心參數(shù)

內(nèi)部尺寸

可定制

最高溫度

1200

產(chǎn)品特點(diǎn)

價(jià)格有優(yōu)勢(shì)，而且服務(wù)效率，質(zhì)量上面好而且有保證。

詳細(xì)介紹

PECVD產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

此款設(shè)備配有Plasma實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)，滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置，可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡(jiǎn)單實(shí)用，工藝重復(fù)性好，對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。

主要功能和特點(diǎn)：

利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相；
提高了氣相反應(yīng)的沉積速率、成膜質(zhì)量；
可通過(guò)調(diào)整射頻電源頻率來(lái)控制沉積速率；
能廣泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長(zhǎng)。

滑軌管式爐技術(shù)參數(shù)
		石英管尺寸			L1400mm Φ（60、80、100）
		加熱元件			摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲
		測(cè)溫元件			K型熱電偶
		加熱區(qū)長(zhǎng)度			400mm
		恒溫區(qū)長(zhǎng)度			200mm
		工作溫度			≤1100℃
		控溫模式			模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能
		控溫精度			±1℃
		升溫速率			≤20℃/min
		電功率			AC220V/50HZ/3KW
質(zhì)量供氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
	外形尺寸				600x600x600mm
	標(biāo)準(zhǔn)量程				50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）；
	壓力表測(cè)量范圍				-0.1Mpa～0.15Mpa
	極限壓力				3MPa
	針閥				316不銹鋼
	截止閥				Φ6mm 316不銹鋼針閥
	電功率				AC220V/50HZ/20W
	響應(yīng)時(shí)間				氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
	準(zhǔn)確度				±1.5%
	線性				±0.5～1.5%
	重復(fù)精度				±0.2%
	接口				Φ6,1/4''
真空系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
			外型尺寸	600×600×600mm
			工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
			功率	400W
			抽氣速率	4L\s
			極限真空	4X10-2Pa
			實(shí)驗(yàn)真空度	1.0X10-1Pa
			容油量	1.1L
			進(jìn)氣口口徑	KF25
			排氣口口徑	KF25
			轉(zhuǎn)速	1450rpm
射頻電源
			信號(hào)頻率	13.56 MHz±0.005%
			功率輸出范圍	3W-300W 5W-500W可選
			最大反射功率	200W
			射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
			功率穩(wěn)定度	±0.1%
			諧波分量	≤-50dbc
			供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
			整機(jī)效率	>=70%
			功率因素	>=90%
			冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷