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新型硅碳連續(xù)式CVD爐

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產(chǎn)品特點

該設(shè)備是一款專業(yè)應(yīng)用于新型硅碳,硅氧碳,碳納米管制備的CVD爐,具備高密封和均勻性,可連續(xù)式生產(chǎn)。

詳細介紹


設(shè)備特點:

(1)該使用溫度低于1000度

(2)該設(shè)備為連續(xù)式設(shè)備

(3)該設(shè)備為全密封結(jié)構(gòu)

(4)該設(shè)備生產(chǎn)過程保護氣體消耗量小

(5)該設(shè)備可以精確控制物料在爐內(nèi)的停留時間

(6)該設(shè)備可以在一種或多種氣氛下燒結(jié)

(7)該設(shè)備可以實現(xiàn)氣相沉積燒結(jié)(CVD法制備硅碳)

(8)該設(shè)備爐管材料可以選擇金屬或非金屬制作

(9)該設(shè)備溫控精度高(≤2℃)

(10)該設(shè)備可以直接測試物料的溫度

(11)該設(shè)備溫控采用PLC+PID方式

(12)該設(shè)備的爐襯全部選用輕質(zhì)耐火材料

(13)該設(shè)備產(chǎn)量大,能耗低,占地面積小


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