高分辨率顯微鏡載玻片靶采用高精度電子束光刻技術設計。這些圖案蝕刻在光譜透射范圍廣泛 (DUV-VIS-NIR) 的 10 × 10mm2 熔融石英基底上，在該襯底上施加高光密度的鉻層。通過去除鉻層，形成尺寸低至 100nm 的圖案。高分辨率顯微鏡載玻片靶提供優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性，并安裝在金屬顯微鏡載玻片支架中。每個靶上的負片圖案允許結構透明，而背景被鉻層阻擋。

高分辨率顯微鏡美國空軍USAF測試目標板

高分辨率顯微鏡美國空軍USAF測試目標板可確定透射光中物鏡的分辨率極限，并由 59 個圖案組成，水平和垂直排列的線圖案為 7.5 至 3300 lp/mm。該測試目標板還具有 5 個直徑在 4.0-0.25μm 之間的針孔，可用于微成像光學元件的詳細表征。

高分辨率顯微鏡星測試目標板

高分辨率顯微鏡星測試目標板由 5 顆西門子星組成，其特點是星中心的錐形部分精確制造的最小寬度為 150nm。該測試目標板適合于確定具有高數(shù)值光圈的顯微鏡物鏡的分辨率。

高分辨率顯微鏡檢查板

高分辨率顯微鏡檢查板的特點是 50 x 50 平方微米的正方形總尺寸為 9.0 x 9.0 平方毫米。檢查板適合于測試圖像歪斜和曲率，以及確定由于直線和銳邊導致的圖像質量。