產(chǎn)品功能介紹
氬離子拋光系統(tǒng)是一個用于樣品的截面制備及平面拋光的桌面型制樣設(shè)備，以便樣品在SEM及其它設(shè)備上進(jìn)行檢測分析?？衫肐lionII進(jìn)行拋光加工的材料種類十分廣泛，包括由多元素組成的試樣，以及具有不同的機(jī)械硬度、尺寸和物理特性的合金、半導(dǎo)體材料、聚合物和礦物等。如焊縫截面，集成電路焊點，多層薄膜截面，顆粒、纖維斷面，復(fù)合材料、陶瓷、金屬及合金、巖石礦物及其他無機(jī)非金屬等各種材料的SEM、EBSD樣品。

品牌介紹
美國Gatan公司成立于1964年并于70年代末進(jìn)入中國市場。Gatan公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的先進(jìn)性在電鏡界享有*聲譽(yù)。
作為設(shè)計和制造用于增強(qiáng)和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球物理學(xué)、電子學(xué)，能源科學(xué)等領(lǐng)域， 客戶范圍涵蓋的科研院所，高校，各類檢測機(jī)構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實驗室，并且在科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)同。

產(chǎn)品主要技術(shù)特點：
氬離子拋光系統(tǒng)采用兩支具有低能聚集的小型潘寧離子槍，可提供快速柔和的拋光效果。低至100eV的離子束提供更柔和的拋削效果，用于樣品的終ji拋光。新型低能聚焦電極使得離子束的直徑在幾乎整個加速電壓范圍內(nèi)都保持恒定。每個槍都可準(zhǔn)確獨(dú)立地將離子束對中在樣品上，從而產(chǎn)生*的離子拋光速率。在操作過程中，可隨時改變槍的角度。通過控制氣體流量可將槍電流變化范圍控制在0~100mA之間。在觸摸屏上通過手動或者自動方式調(diào)節(jié)氣體流量使每個槍的工作電流得到*化。
集成的10英寸彩色觸摸屏計算機(jī)可對Ilion II的所有操作參數(shù)進(jìn)行*控制。此界面不僅可以設(shè)定所有參數(shù)并能夠監(jiān)控拋光過程。所有的操作參數(shù)還可以存為配方，調(diào)用配方可獲得高精度重復(fù)實驗。
渦輪分子泵搭配兩級隔膜泵保證了超潔凈環(huán)境。Gatan專li的氣動控制Whisperlock技術(shù)能實現(xiàn)快速樣品交換（< 1分鐘），省去了換樣過程中必須*泄真空至大氣的煩惱。
1. 氣鎖裝置實現(xiàn)快速樣品交換、始終保持潔凈的高真空狀態(tài)
2. 10英寸觸摸屏可對系統(tǒng)進(jìn)行*控制與監(jiān)測
3. 配方模式的控制界面，用于一鍵操作
4. 質(zhì)量流量控制器提供精確和可重復(fù)的氬離子電流的控制
5. 槍電壓范圍為100V到8000V的三元（陰極、陽極與聚焦極）構(gòu)造潘寧離子槍
6. 每個槍的拋光角度可調(diào)范圍為-10度~10度，增量為0.1度
7. 扇形拋光角度可變且可程序化，范圍從10度~90度
8. 離子槍無需零件更換，壽命超過30,000小時
9. Gatan專li的樣品/擋板配置，裝樣簡單，再次拋光位置準(zhǔn)確
10. *的離子束調(diào)制功能，可進(jìn)行扇形拋光和平面拋光
11. 潔凈的真空系統(tǒng)，分子泵與隔膜泵搭配
12. 操作簡單，維護(hù)方便


Gatan氬離子拋光系統(tǒng)Ilion II 697

產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：
1、 離子槍:        兩個配有稀土磁鐵的三元構(gòu)造（陰極、陽極與聚焦極）潘寧離子槍，聚焦離子束設(shè)計,高性能無耗材
2、 拋光角度:     +10° 到 -10° ，每個離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)
3、 離子束能量:     100 V 到 8.0 kV
4、 離子束流密度: 10 mA/cm2 峰值
5、 拋光速度:     300 μm/h（8.0 kV條件下對于硅試樣）
4.2樣品臺
6、 樣品裝載： Ilion專li的樣品擋板, 裝樣簡單，再次拋光位置準(zhǔn)確，可重復(fù)使用，配合Sample Stub可直接轉(zhuǎn)至SEM中觀察
7、 樣品旋轉(zhuǎn)： 0.5到6 rpm連續(xù)可調(diào)
8、 束流調(diào)制：  *的離子束調(diào)制功能，可進(jìn)行扇形截面拋光（扇形角度為10到90度可調(diào)）和平面拋光
9、樣品觀察： 數(shù)碼變焦顯微鏡，配有PC及Digital Micrograph軟件采集圖像，通過Gatan Digital Micrograph軟件可進(jìn)行實時成像（300x–2,200x）與圖像存儲和分析
10、液氮冷臺：配置液氮冷臺，樣品zui低溫度可達(dá)-120°C,有效減少離子束對樣品造成的損傷
4.3真空系統(tǒng)
11、干泵系統(tǒng)：兩級隔膜泵支持80升/秒的渦輪分子泵
12、壓力：    5x10-6 托基本壓力，8.5x10-5托工作壓力
13、真空規(guī)： 冷陰極型，用于主樣品室；固體型，用于前級機(jī)械泵
14、樣品空氣鎖： *的Whisperlok設(shè)計，樣品更換時間<1min，無需破樣品室真空
4.4用戶界面
15、10 英寸觸摸屏： 操作簡單，且能夠*程序化控制所有參數(shù)可進(jìn)行配方操作。
16、配方操作模式：自定義不同的加工參數(shù)組合，實現(xiàn)一鍵操作。

產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域：
EBSD樣品制備
截面樣品制備
金屬材料（合金，鍍層）
石油地質(zhì)巖石礦物
光電材料
化工高分子材料
新能源電池材料
電子半導(dǎo)體器件