主要應(yīng)用

半導(dǎo)體晶圓應(yīng)用、汽車零部件、消費(fèi)電子、能源、材料表面、微電子、LED、微體古生物學(xué)、光學(xué)鏡片加工、模具加工、鐘表制造、腐蝕表面結(jié)構(gòu)、摩擦學(xué)表面結(jié)構(gòu)。

主要特點(diǎn)及功能

1）  共聚焦技術(shù)

共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。利的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

2） 干涉技術(shù)

白光垂直掃描干涉（VSI）是種廣泛用于測量表面特性（如形貌或透明薄膜結(jié)構(gòu)）的功能強(qiáng)大的技術(shù)。它適合測量從光滑到適度粗糙的表面，無論物鏡的NA或者放大倍數(shù)變化，均可以提供納米的垂直分辨率。

3） 多焦面疊加技術(shù)

多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對工件和模具測量特別有用。

主要優(yōu)勢：

1） 實(shí)時(shí)圖像     

SENSOSCAN為您呈現(xiàn)前所未有的共聚焦實(shí)時(shí)圖像。我們的圖像質(zhì)量和速度進(jìn)一步提升，在共聚焦照明模式下可達(dá)9幀/秒，在明場照明模式下高達(dá)30幀/秒。與此同時(shí)，還有多種實(shí)時(shí)圖像模式選擇。

2）硬件

測量頭和控制器渾然一體的很好結(jié)合，體積小巧易于安裝。設(shè)備自帶防震墊，穩(wěn)定可靠。

3） 超長工作距離物鏡

S lynx采用優(yōu)質(zhì)的CF60-2系列的尼康鏡頭，在任何數(shù)值孔徑下都有超長的工作距離，可選物鏡高達(dá)30多枚。結(jié)合編碼物鏡轉(zhuǎn)換器，軟件能自動(dòng)識(shí)別物鏡并自由切換。

4） 可調(diào)節(jié)支架

Sensofar開發(fā)了4種支架，可允許150mm的調(diào)節(jié)高度。該靈活選擇避免了不同高度樣品掃描的局限性。

5）刀片支架

這種刀片支架是一種可選附件，可將切削工具定位在測量需要的精確位置。 它兼容市場上現(xiàn)有的各種刀片型號。

6） 豐富的參數(shù)設(shè)定  

通過調(diào)整參數(shù)可優(yōu)化測量步驟。例如，優(yōu)化自動(dòng)對焦設(shè)定能夠減少測量時(shí)間，采用多級的照明和優(yōu)化掃描范圍可觀察復(fù)雜的3D形貌。優(yōu)化后的測量參數(shù)可存儲(chǔ)為單點(diǎn)（SMR）或多點(diǎn)（MMR）程序測量。

7） 一鍵3D測量   

用戶只需找到測量位置 ， 點(diǎn)擊3D測量按鈕，SensoSCAN的軟件將自動(dòng)調(diào)整照明亮度，自動(dòng)對焦，執(zhí)行較佳的測量模式，將準(zhǔn)確的測量結(jié)果于彈指間為您呈現(xiàn)。

8） 交互式的3D和2D視圖提供多樣的分析      

演示及渲染選項(xiàng)。內(nèi)置測量軟件有測量尺寸，角度，距離，直徑，標(biāo)注特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解決各種分析任務(wù)的理想軟件。您還可選擇以下兩套高階軟件來完成更復(fù)雜的分析SensoMAP和SensoPRO。

9） 進(jìn)階分析

更豐富的進(jìn)階分析功能可進(jìn)行數(shù)據(jù)補(bǔ)償，形狀去除（平面，球形，不規(guī)則形狀），濾波分析，剪裁和提取輪廓等。用戶可生成分析模版保證分析的連續(xù)性和一致性。