MPCVD 法是在微波能量的作用下，將沉積氣體激發(fā)成等離子體狀態(tài)，在由微波產(chǎn)生的電磁場的作用下，腔體內(nèi)的電子相互碰撞并產(chǎn)生劇烈的振蕩，促進(jìn)了諧振腔內(nèi)其它的原子、基團(tuán)及分子之間的相互碰撞，從而有效地提高反應(yīng)氣體的離化程度，達(dá)到輝光發(fā)電，產(chǎn)生更高密度的等離子體。德國 iplas公司的獨  家專 利多天線耦合微波等離子技術(shù)（CYRANNUS?），可在反應(yīng)腔中實現(xiàn)極高的 SP3 鍵轉(zhuǎn)化率，使得腔體中充滿過飽和原子氫和含碳基團(tuán)，從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積質(zhì)量得到改善，這正是獲取優(yōu)質(zhì)金剛石的技術(shù)基礎(chǔ)。德國 iplas 推出的微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（MPCVD），其真空室的形式為金屬腔-石英管一體式，壓力操作范圍從 10mbar 到室壓范圍，可制備大尺寸、優(yōu)質(zhì)金剛石（工藝參數(shù)得當(dāng)可制備出首飾級鉆石）和高均勻性的金剛石厚膜。