為了滿足放置在振動(dòng)隔離系統(tǒng)上的半導(dǎo)體設(shè)備嚴(yán)格的隔振要求，TMC繼續(xù)推進(jìn)技術(shù)進(jìn)步來開發(fā)新的解決方案。Stage-Base 450是專門設(shè)計(jì)用于具有高精度電動(dòng)x-y平臺(tái)的先進(jìn)半導(dǎo)體工具的主要振動(dòng)隔離系統(tǒng)。這種儀器需要非常高xiao的振動(dòng)隔離，同樣他們也要求通過快速設(shè)置移動(dòng)平臺(tái)來減小負(fù)載從而ji大的提高隔振效率。由于用于快速設(shè)置調(diào)節(jié)時(shí)間來進(jìn)一步增加隔振效率的前饋控制音圈電機(jī)的加入，使其成為用于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)應(yīng)用的先jin的主動(dòng)振動(dòng)和運(yùn)動(dòng)隔離系統(tǒng)。

特點(diǎn)：

• 采用STACIS專li技術(shù)

• 采用可擴(kuò)展的壓電陶瓷致動(dòng)器

• 負(fù)載的位置可重復(fù)性在微米范圍內(nèi)可安裝的框架設(shè)計(jì)6個(gè)隔振自由度

• 可選的音圈電機(jī)前饋或反饋

• 主動(dòng)隔振從0.6 Hz開始

• 快速的調(diào)節(jié)時(shí)間來響應(yīng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)沒有氣浮支撐

• 通過US,B2.0與電腦的圖形用戶界面GUI連接的高速數(shù)字控制器操作簡單、性能穩(wěn)健，性價(jià)比高

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：

激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

探測(cè)器：光電探測(cè)器、單光子計(jì)數(shù)器、單光子探測(cè)器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

定位與加工：納米定位系統(tǒng)、微納運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、多維位移臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、微型操作器等等

光源：半導(dǎo)體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機(jī)械件：用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無應(yīng)力光機(jī)械件，如光學(xué)調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學(xué)平臺(tái)：主動(dòng)隔振平臺(tái)、氣浮隔振臺(tái)、實(shí)驗(yàn)桌、剛性工作臺(tái)、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學(xué)元件：各類晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等