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XYT450 精密運動系統(tǒng)

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XYT450 精密運動系統(tǒng)

XYT450 精密運動系統(tǒng),XYT450 精密運動系統(tǒng)
通用參數(shù)

產品特點

直線電機驅動,速度 1m/s,最大加速度 2g 

高剛性滾柱導軌,10kg 承載 

高精度光柵尺反饋,亞微米級分辨率 

全封閉防塵設計(無塵拖鏈)


型號XYT450M
XYT
行程450mm450mm360
負載110kg
定位精度3um3um
重復定位精度(3σ)2um2um±3arcsec
運動分辨率2100nm100nm0.0005deg
最大速度31000mm/s1000mm/s
最大加速度32g1g
水平方向直線度3um3um徑跳10um
豎直方向直線度3um3um軸跳10um
XY正交10arcsec
平臺質量約1000kg

*1 歡迎與廠家工程師團隊交流具體裝載質量等參數(shù)要求,優(yōu)化高精密運動平臺設計。

*2 針對不同的控制器、驅動器、環(huán)境振動和結構的系統(tǒng)設計可實現(xiàn)不同的運動分辨率。 

*3 針對不同承載重量、控制器、驅動器的系統(tǒng)設計可實現(xiàn)不同的速度和加速度。 

*XYT450 精密運動系統(tǒng)可定制 Z 軸、基座等



 


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