產(chǎn)品簡介

UNIXX smartEBR 模塊是一種革命性的方法，可以去除任何形狀基材上的邊珠。它可以配置溶劑或紫外光源。工藝外殼由不銹鋼制成，并帶有透明玻璃蓋，用于手動裝載和卸載基板。通過“Air-Beam Technology”噴嘴單元，為客戶帶來了顯著的好處，例如更高的產(chǎn)量和更低的成本。該設(shè)備具有易于操作的用戶界面，具有所有需要的功能，例如配方編程、服務(wù)通信和用戶管理。所有必要的介質(zhì)供應(yīng)，如 CDA、N2、真空和去離子水都可以通過快速插入式連接連接并由軟件控制。 

產(chǎn)品特色

÷ 手動裝卸

÷ 襯底尺寸最大可達(dá) ?200 mm 或 150 x 150 mm

÷ 適用于薄或非常厚的襯底 (從 0.2 到 15 mm)

÷ 廣泛的襯底材料，如硅、碳化硅、玻璃、塑料、金屬等。

÷ “Air-Beam Technology”噴嘴單元為客戶提供了顯著的好處，例如更高的產(chǎn)量和更低的成本。

÷ 不銹鋼制成的高流量或低流量 EBR 噴嘴

÷ 通過高分辨率對齊模塊自動校準(zhǔn)襯底

÷ 介質(zhì)流量可調(diào)節(jié)(可選：控制單元上的可編程配方點(diǎn)膠量)

÷ 提供不同的卡盤：真空或低接觸卡盤或邊緣夾持卡盤

系統(tǒng)設(shè)計(jì):

÷ 工藝外殼由不銹鋼制成，帶有透明蓋。

÷ 獨(dú)立單或雙底架:

- 由粉末涂層不銹鋼制成的系統(tǒng)框架和外殼

- 可鎖定的前門，用于存放溶劑和廢液罐

- 易于訪問的用于服務(wù)操作的控制單元

- 可調(diào)水平腳和運(yùn)輸輪

÷ 可作為臺式模塊使用

控制裝置:

÷ 7 英寸彩色觸摸屏作為用戶終端

÷ 配方編輯器可編寫、管理和配置

÷ X 或 X-Y 軸可編程邊緣珠去除光刻膠單元*

÷ 有效的過程監(jiān)控的實(shí)際可視化

÷ 配方、流程、日志文件的庫函數(shù)（例如錯誤跟蹤歷史記錄）

÷ 通過密碼保護(hù)的服務(wù)訪問進(jìn)行用戶管理

÷ 通過USB或內(nèi)網(wǎng)連接更新和備份功能

*取決于襯底形狀或尺寸

技術(shù)數(shù)據(jù)

通用

襯底尺寸: X軸最大可達(dá) ?200 mm /? 8” 或 76 x 76 mm / 3 x 3 inch

X / Y軸最大可達(dá) ?200 mm /? 8” 或 150 x 150 mm / 6 x 6 inch 電機(jī)

轉(zhuǎn)速: 最大 600 轉(zhuǎn)，以 1 轉(zhuǎn) 步進(jìn)可編程*

電機(jī)加速: 最大 1.000 rpm/s

smartEBR模塊: 由不銹鋼和透明可鎖玻璃門制成

系統(tǒng)框架: 由粉末涂層不銹鋼制成，帶有 4 個可調(diào)節(jié)支腳

系統(tǒng)外殼: 由粉末涂層不銹鋼制成

*取決于卡盤設(shè)計(jì)、襯底重量和負(fù)載

要求

電源: 400 (208) VAC / 3 相 / N / PE / 50(60) Hz / 16A

真空: -0.8 巴 （-80KPa）, 管 OD ?10 mm

CDA: 8 巴（800KPa）, 管 OD ?10 mm

氮（可選）: 4.5 巴（450KPa）

排氣過程: 1 x OD ?110 mm, 60 - 90m3/h

排氣容器: 1 x OD ?110 mm, 20 - 40m3/h

排水: 到帶有高液位傳感器的廢物罐或到設(shè)施排水管