laurell勻膠機(jī)650系列

產(chǎn)品描述：

過(guò)程控制器：650 系列過(guò)程控制器采用強(qiáng)大的微處理器，并且使用其隨附的 PC 軟件（以面向?qū)ο缶幊陶Z(yǔ)言編寫），在過(guò)程定義和使用方面實(shí)現(xiàn)了幾乎聞所未聞的靈活性。該控制器允許操作員在過(guò)程執(zhí)行期間實(shí)時(shí)交互，包括暫停時(shí)間，停止和從該點(diǎn)繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將在現(xiàn)場(chǎng)輕松快速地不斷更新，并提供可下載的固件修訂版。

650系列控制器也可以與帶有Spin 3000的PC配合使用，Spin 3000是Laurell獨(dú)有的過(guò)程管理軟件。但是，編程或運(yùn)行設(shè)備不需要這樣做。使用PC增加了在運(yùn)行過(guò)程中記錄過(guò)程的能力，遠(yuǎn)程操作，編程或通過(guò)LAN或Internet進(jìn)行通信。該軟件無(wú)需額外費(fèi)用即可提供，允許操作員創(chuàng)建虛擬過(guò)程模擬，甚至超出實(shí)際安裝的硬件旋轉(zhuǎn)處理器，實(shí)際上，讓他們?cè)诔兄Z過(guò)程之前嘗試一下。所有 650 系統(tǒng)都可以升級(jí)或重新利用，無(wú)需返回工廠，只需使用簡(jiǎn)單的插件模塊（無(wú)論是實(shí)際還是虛擬），并且可以包含幾乎無(wú)限數(shù)量的流程和步驟。

Laurell 獨(dú)特的內(nèi)部轉(zhuǎn)鼓設(shè)計(jì)消除了飛濺，無(wú)需安裝"飛濺環(huán)"。我們的排氣排水適配器帶有可拆卸的油箱，功能強(qiáng)大，方便快捷。

封閉式轉(zhuǎn)鼓設(shè)計(jì)與工藝控制器的精度相結(jié)合，使大多數(shù)涂層材料能夠在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥，從而提高均勻性并醉大限度地減少顆粒污染。上充氣室在底座內(nèi)部關(guān)閉以提供重疊的密封，蓋子內(nèi)部有一個(gè)特殊的排水溝，將流體引導(dǎo)到系統(tǒng)的后部，以防止化學(xué)品意外滴落到基板上。

專有的迷宮式密封件可保護(hù)電機(jī)和控制電子設(shè)備免受化學(xué)污染。該密封件為工藝腔室提供了氮?dú)獯祾?，并已在現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試期間被證明在亞微米級(jí)上無(wú)顆粒。該系統(tǒng)的蓋子具有耐化學(xué)性，并且在整個(gè)系統(tǒng)中的一些未接液區(qū)域僅使用ECTFE涂層的316不銹鋼螺釘。

安全：

與操作員完全電氣隔離，萬(wàn)無(wú)一失的門聯(lián)鎖，以及ETL認(rèn)證，UL和CSA認(rèn)證的組件確保了多年的安全，無(wú)故障性能。聯(lián)鎖裝置可防止在真空開(kāi)關(guān)未接合和蓋子打開(kāi)時(shí)旋轉(zhuǎn)。所有Laurell系統(tǒng)都符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，所有證書都隨每個(gè)系統(tǒng)一起發(fā)送。

過(guò)程保障：

所有Laurell過(guò)程控制器的"過(guò)程保護(hù)"功能確保相同的過(guò)程不會(huì)無(wú)意中在同一基板上運(yùn)行?？梢院苋菀椎乩@過(guò)此功能以再次運(yùn)行相同的進(jìn)程，而無(wú)需打開(kāi)系統(tǒng)，或者可以一遍又一遍地運(yùn)行序列（循環(huán)）。

所需設(shè)施

N2過(guò)程/密封吹掃：

需要 60–70 PSIG （4–5 bar） 的氮?dú)?/span>/CDA來(lái)對(duì)迷宮式電機(jī)密封件加壓。這種氣體還會(huì)吹掃工藝腔室。氣體消耗非常低，每小時(shí)3立方英尺（0.085米）3/小時(shí)）用于我們的標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)，每小時(shí) 20 立方英尺（0.566 米）3/小時(shí)），用于我們的高性能電機(jī)。提供 10 英尺（300 厘米）的 3/16 英寸 （~4 毫米） 內(nèi)徑 X 1/4 英寸 （~6 毫米） 外徑PE管。

真空：

建議在 0 英寸汞柱下真空 25–28 英寸（~635–711 毫米）汞柱，流量為 4.5 SCFM（0.127 立方米/分鐘）。 提供 10 英尺（300 厘米）的 3/8 英寸（~9.5 毫米）外徑 X 1/4 英寸（約 6 毫米）內(nèi)徑PE管。

功率：

95 到 240VAC， 47/63HZ， ~300 瓦

支持的流程：

HL系列通常用于溶劑型、堿型或酸性加工的手套箱：涂層、蝕刻、顯影、漂洗-干燥和清潔。雖然所有這些過(guò)程都得到支持，但勞雷爾建議僅使用一次性，因?yàn)橐阎牟牧蠜_突。例如，光刻膠和顯影劑（交叉污染），以及 SC-1 和 SC-2（HCl + NH4OH），會(huì)產(chǎn)生 NH4Cl，吸入危險(xiǎn)。 提供許多手動(dòng)和自動(dòng)分配選項(xiàng)。

技術(shù)參數(shù)：