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Nikon光刻機
- 品牌：日本尼康
- 型號： NSR-i12,NSR-1755G7,NSR-1755i7B
- 產(chǎn)地：亞洲 日本
- 供應商報價：面議
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深圳市藍星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-05-06 11:28:39 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品日本Nikon 步進光刻機(10件)
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為您推薦
產(chǎn)品特點
- Nikon步進式光刻機，廣泛應用于生產(chǎn)線，操作簡單，曝光精度準，解析力Z高可達0.35UM （350NM）
詳細介紹
Nikon 步進光刻機及幾種研發(fā)常用試驗機型資料
I線步進式光刻機 / I-line stepper
型號：Nikon NSR-I12
技術指標及功能
廣泛應用于生產(chǎn)線，是6英寸，8英寸等主力I線生產(chǎn)機臺，適用于I線光刻膠的曝光，操作簡單，曝光精度準，解析力最 高可達0.35UM （350NM）
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Nikon G-line步進光刻機
規(guī)格型號：Nikon NSR-1755G7
技術指標及功能
適用于分辨率不低于0.65μm的大規(guī)模集成電路工藝器件量產(chǎn)的G-line步進式光刻機。
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技術指標及功能
把掩膜版上的圖形按照一定的比例縮小復制到涂布有光刻膠的晶圓上，分區(qū)域進行步進式曝光。本機臺可用于125mm×125mm掩模和φ100mm及150mm的晶圓高精度投影曝光，曝光精度可達500nm。
基本指標1. RESOLUTION：0.5μm
2. LENS DISTORTION：≤0.9μm
3. RETICLE ALIGNMENT ACCURACY：≤0.02μm
4. STEPPING ACCURACY：≤0.08μm
5. OVERLAY ACCURACY：≤0.15μm(X,Y)
6. OPEN FLAME(MAX. EXPOSURE AREA)：17.5×17.5mm---------------------------------------------------------------------
步進式投影光刻機
分辨率:0.35μm， 套刻精度:< 75nm, 十字線對準:5:1 ， 150毫米* 150毫米
Resolution：0.35μm, overlay accuracy：<75nm Reticle：5:1 150mm*150mm
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號