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CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

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聯(lián)系方式：400-650-5735

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CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列核心參數(shù)

樣品腔尺寸	L300xW215mm	樣品腔容積	10.8L
射頻功率	40KHz/13.56MHz

產(chǎn)品特點

CIF推出全新一代 CPC-10系列實驗室型等離子體清洗設備，顛覆傳統(tǒng)等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積，使用成本低，性價比高，處理快速高效，特別適合于大學，科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。

產(chǎn)品特點：

◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆ PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆ 石英真空艙，真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。

◆ 采用質(zhì)量流量計，實現(xiàn)對氣體輸入準控制，改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆ HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆ 60 度傾角操作界面設計，符合人體功能學，操作方便，界面友好。

◆ 頂置真空艙，上開蓋設計，下壓式鉸鏈開關方式，開關蓋方便。

◆ 采用花灑式多孔進氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆ 上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計，符合人體功能學，操作更方便。

◆ 有效清洗面積大，可清洗最d直徑 8 吋硅片。

◆ 安全保護，艙門打開，自動關閉電源。