儀器簡(jiǎn)介：
 橢圓偏振光譜是一種無損無接觸的光學(xué)測(cè)量技術(shù)，基于測(cè)量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等，可測(cè)厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測(cè)試材料的反射率及透過率。

技術(shù)參數(shù)：

       * 光譜范圍: 190-885 nm（可擴(kuò)展至2100nm）
       * 微光斑可選50μm-100μm-1mm
       * 探測(cè)器：分別針對(duì)紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測(cè)器
       * 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：多種樣品臺(tái)可選
       * 自動(dòng)量角器：變角范圍40° - 90°，全自動(dòng)調(diào)整，小步長0.01°

主要特點(diǎn)：
       * 50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件
       * 具備超薄膜所需的測(cè)量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率
       * 具有毫秒級(jí)超快動(dòng)態(tài)采集模式，可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
       * 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件
       * 配置靈活