X射線探測的高效率與靈敏度 ——XFlash FlatQUAD QUANTAX FlatQUAD是基于革 命性的XFlash FlatQUAD探測器 的EDS微區(qū)分析系統(tǒng)。這一獨 特設計的環(huán)形四通道SDD探測 器工作時位于掃描電鏡極靴和 樣品之間，能夠獲得EDS分析 較大的固體角。結(jié)合ESPRIT分 析軟件, QUANTAX FlatQUAD 系統(tǒng)對于傳統(tǒng)斜插式能譜很難 分析的樣品，可提供優(yōu) 素面分布效果。 XFlash FlatQUAD探測器的探頭組件中，四個獨立的硅漂 移芯片成環(huán)形排列于中心孔四周，入射電子束從該中心 孔穿過。探測器材料經(jīng)過特殊選擇, 避免對電子束產(chǎn)生 影響, 保證高質(zhì)量的電鏡圖像。 使用全新的探測器技術(shù)， QUANTAX FlatQUAD系統(tǒng)的核心—XFlash FlatQUAD探測 器，基于新穎的探測器設計理念，安裝于掃描電鏡 樣品 倉的水平接口 ， 使探測器置于電鏡極靴和樣品之間。而 傳統(tǒng)的探測器則采用電鏡的傾斜接口。XFlash FlatQUAD 探測器能夠與不同類型的掃描電鏡兼容。 探測器配置了不同厚度的特殊聚合物窗口，可吸收不同 加速電壓下的背散射電子。

掃描電鏡能譜分析優(yōu)化的固體角：

XFlash FlatQUAD探測器芯片的位置和 尺寸（4×15mm 有效面積）提供了掃描 電鏡中X射線采集的較大固體角。能夠 獲得大于1sr的固體角和至少60°的檢 出角。

超高計數(shù)率和能量分辨率兼得 超高的采集效率帶來超高的計數(shù)率， 每塊芯片都配備了獨立的信號處 理通道。輸入計數(shù)率（ICR）和輸出計數(shù) 率（OCR）可分別高達4,000kcps和1,600 kcp s 。布魯克專業(yè)的SDD技術(shù)使得 XFlash FlatQUAD在計數(shù)率100kcps內(nèi)保 證能量分辨率達到Mn-Kα126eV,C-K 51eV，F(xiàn)-K60eV）。

。 原理

XFlash FlatQUAD是一款平插式探測 器，置于掃描電鏡極靴和樣品之間。 四塊硅漂移晶體成環(huán)形排列于中心 孔四周，入射電子束從中心孔穿過。 適用于不同的工作距離并具有優(yōu)異 的性能。