立式爐管清洗機(jī)專為半導(dǎo)體、光伏、光學(xué)鍍膜等領(lǐng)域設(shè)計，用于高效清洗石英爐管、石英舟、硅片承載器等關(guān)鍵部件。采用垂直結(jié)構(gòu)設(shè)計，結(jié)合化學(xué)濕法清洗與物理清洗技術(shù)，可快速去除爐管表面的顆粒物、氧化物、殘留化學(xué)品及微小污染物，確保生產(chǎn)工藝的潔凈度與穩(wěn)定性。

一、核心技術(shù)特點(diǎn)

多模式清洗組合

DIW噴淋清洗：高壓去離子水（DIW）沖刷，快速剝離表面顆粒。

超聲波空化清洗：通過高頻振動分解頑固雜質(zhì)，提升清洗均勻性。

化學(xué)循環(huán)清洗：兼容酸液（如HF、HNO?）或堿液，去除金屬殘留與氧化層。

智能化控制系統(tǒng)

PLC觸摸屏操作：支持自動化流程設(shè)定（時間、溫度、流速等），實(shí)時監(jiān)控清洗狀態(tài)。

數(shù)據(jù)追溯功能：記錄清洗參數(shù)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)潔凈度追溯要求（如ISO 1-5級）。

耐腐蝕材質(zhì)與結(jié)構(gòu)

主體材質(zhì)：PP/PVC防腐內(nèi)槽 + 不銹鋼骨架，適應(yīng)強(qiáng)酸/堿環(huán)境，延長設(shè)備壽命。

模塊化設(shè)計：可拆卸噴嘴、濾網(wǎng)及管路，便于維護(hù)與更換。

安全與環(huán)保設(shè)計

安全防護(hù)：配備EMO急停按鈕、漏電保護(hù)、氣體排放過濾系統(tǒng)，防止化學(xué)泄漏。

節(jié)能工藝：封閉式清洗腔體，減少化學(xué)品揮發(fā)；DIW循環(huán)利用，降低資源消耗。

二、定制化服務(wù)

爐管兼容性：支持定制直徑（50-300mm）、長度（500-2000mm）及異形結(jié)構(gòu)（如彎管、擴(kuò)口型）。

清洗工藝適配：根據(jù)污染物類型（如拋光液殘留、氧化膜）調(diào)整超聲波頻率、化學(xué)配比及噴淋角度。

潔凈度升級：可選配在線顆粒檢測（LPC）、烘干模塊及潔凈空氣吹掃功能。

三、應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：清洗擴(kuò)散爐、氧化爐石英爐管，避免顆粒污染芯片。

光伏行業(yè)：處理多晶硅/單晶硅生長爐管，提升硅片良品率。

光學(xué)鍍膜：清潔真空鍍膜機(jī)爐腔，防止光學(xué)元件表面缺陷。

科研實(shí)驗(yàn)：高精度清洗實(shí)驗(yàn)室級石英器件，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。