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科研版無掩模光刻機(jī)

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產(chǎn)品特點

科研版無掩模光刻機(jī)
高靈活性、高精度、無掩模的優(yōu)勢,適用于科學(xué)研究
●6英寸加工幅面
●最小特征尺寸可達(dá)0.4μm
● 步進(jìn)式光刻/掃描式光刻

詳細(xì)介紹

隨著微電子、集成電路等領(lǐng)域的迅猛發(fā)展,光刻技術(shù)也在不斷革新。托托科技推出的無掩模光刻機(jī),以其革命性的技術(shù),為我國微電子制造領(lǐng)域帶來了靈活性和效率。


無掩模光刻機(jī),突破傳統(tǒng)束縛

與傳統(tǒng)有掩模光刻技術(shù)相比,托托科技的無掩模光刻機(jī)擺脫了實體掩模的限制,采用DMD(數(shù)字微鏡裝置)技術(shù),實現(xiàn)了高精度、高效率的圖案化加工。這種技術(shù)不僅省去了制版的時間和成本,還為科研和生產(chǎn)帶來了極大的便利。


多型號選擇,滿足不同需求

托托科技針對不同應(yīng)用場景,推出了科研版、教育版、高速版等多款無掩模光刻機(jī)。科研版專注于高精度、高靈活性,適用于科學(xué)研究;教育版體積小巧,適合實驗課程;高速版則具備更快的加工速度,適用于小批量生產(chǎn)制造。這些產(chǎn)品滿足了不同用戶的需求,為我國微電子產(chǎn)業(yè)提供了有力支持。


技術(shù)創(chuàng)新,優(yōu)勢顯著

托托科技的無掩模光刻機(jī)具有以下優(yōu)勢:無需掩模版的靈活性、高加工精度(可達(dá)400 nm)、高速度(可達(dá)1200 mm2/min)以及大加工幅面(可達(dá)2 m2)。此外,4096階的灰度光刻能力,使得光刻機(jī)能夠構(gòu)建出高度復(fù)雜且細(xì)膩的微觀結(jié)構(gòu)或圖案。


廣泛應(yīng)用,推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展

無掩模光刻機(jī)在二維材料、微流控、MEMS、微透鏡、光學(xué)衍射器件、浮雕結(jié)構(gòu)、超表面、量子光學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。這些應(yīng)用不僅體現(xiàn)了托托科技產(chǎn)品的多樣性,也推動了相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。


托托科技,致力于技術(shù)創(chuàng)新

作為一家技術(shù)驅(qū)動型企業(yè),托托科技始終專注于精密光學(xué)儀器的研發(fā)制造。公司以技術(shù)和細(xì)致設(shè)計造就品質(zhì),以耐心服務(wù)和企業(yè)擔(dān)當(dāng)贏得良好口碑。無掩模光刻機(jī)作為公司的核心產(chǎn)品之一,將繼續(xù)引領(lǐng)光刻技術(shù)革新,為我國微電子產(chǎn)業(yè)貢獻(xiàn)力量。 


托托科技的無掩模光刻機(jī)憑借其先進(jìn)的技術(shù)和高性能,已成為微電子、集成電路等領(lǐng)域的重要工具。在未來的發(fā)展中,托托科技將繼續(xù)創(chuàng)新,為我國光刻技術(shù)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。

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