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日本新宇宙XP-703D 泄漏檢測(半導(dǎo)體用)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

一、特點(diǎn):最適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測

詳細(xì)介紹



一、特點(diǎn):
最適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測。
通過報警燈及蜂鳴器即可得知?dú)怏w泄漏。

二、技術(shù)參數(shù):

型號

 XP-703D

檢測原理

 熱線型半導(dǎo)體式

檢測對象氣體

 半導(dǎo)體材料氣體(砷化三氫、磷化氫、乙硼烷、硅烷等)

能檢測的泄漏量



能檢測的濃度

  砷化三氫

 
AsH3

 
1.0 ×10-7

 
0.2          

 磷化氫

 
PH3

 
1.5 ×10-7

 
0.3

 乙硼烷

 
B2H6

 
0.5 ×10-7

 
0.1

 硅烷

 
SiH4

 
2.5 ×10-7

 
0.5

 氫氣

 
H2

 
5 ×10-7 Pa·m3 /s

 
1.0 ppm

應(yīng)答時間

 10秒

檢測表示

 蜂鳴器發(fā)出斷續(xù)音且報警燈閃爍

電源

 5號錳干電池4節(jié)

電池使用時間※1

 使用堿性干電池使用約9小時(使用錳干電池約3小時)

使用溫度范圍

 0℃~40℃

外形尺寸

 W68×H155×D32mm

重量

 約400g(包括電池)

附件

 皮套、吸引過濾器、過濾片、檢查氣體、標(biāo)準(zhǔn)輔助橡膠管、5號錳干電池4本

另售的選購品

 Ni-Cd電池專用充電器、耳機(jī)

※1 也可使用堿性干電池、Ni-Cd電池。


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