納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)VS1800應用光干涉現(xiàn)象，對微細的表面形貌進行測量，可實現(xiàn)高性能薄膜、半導體、汽車零配件、顯示器等行業(yè)所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結構以及層內部的異物測量。

主要特點：

  采用光干涉方式，非接觸測量

  3D測量支持線粗糙度和面粗糙度測量

  自動粗糙度參數(shù)選擇（ISO25178）

  毫米大面積測量

  高精度測量（垂直方向分辨率0.01nm）

  快速、高重復性測量

  多層薄膜和薄膜內層缺陷分析